[实用新型]一种自动点火的微波等离子作用腔

说明书

技术领域

本实用新型涉及微波等离子技术领域，具体涉及一种自动点火的微波等离子作用腔。

背景技术

传统的微波等离子作用腔点火过程中，需在作用腔附近手持点火棒进行点火，工作过程中带来诸多不便，大大限制了微波等离子作用腔的使用；传统作用腔中，石英玻璃只是置于下水冷套组合上，石英玻璃的长度超出上水冷套顶部，在装放过程中，由于石英玻璃没有完全固定，不能随意改变激励腔组合的安装方向，这种结构也使等离子体火焰的方向受到限制，局限了微波等离子作用腔的使用。

因此，很有必要对传统的微波等离子作用腔进行优化改进，采用自动点火装置实现微波等离子作用腔的点火过程，同时将石英玻璃固定住，解决设备使用受限制以及工作效率低的问题。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是为了解决现有微波等离子作用腔的不足，提供一种自动点火的微波等离子作用腔，其结构设计合理，不仅可减小微波泄漏，操作更方便，适应性更强，而且不受工作环境以及激励腔组合的摆放位置的影响，可自动控制微波等离子体点火过程，根据需要调整等离子体火焰的方向，大大提高工作效率，满足不同工作条件下的需求。

技术方案：为了实现以上目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种自动点火的微波等离子作用腔，它包括激励腔组合，分别与激励腔组合相连的上水冷套组合和下水冷套组合，固定在上水冷套组合及下水冷套组合中间的石英玻璃，与下水冷套组合连接的进气组合和与激励腔组合相连的自动点火装置。

作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，激励腔组合包括法兰盘、与法兰盘焊接在一起的谐振腔、与谐振腔焊接在一起的连接法兰、焊接在谐振腔上的端板；法兰盘和连接法兰方便与其他元件相连接；谐振腔可以为2450MHz或915MHz下的等离子体激励腔，可以为压缩波导结构，也可以是其它结构。

作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，所述的上水冷套组合与下水冷套组合的结构相同，它们均包括圆筒、与圆筒焊接在一起的水冷套、与圆筒及水冷套焊接在一起的底法兰；上水冷套组合与下水冷套组合的底法兰与激励腔组合的连接法兰通过螺钉固定，安装拆卸方便。

作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，上水冷套组合和下水冷套组合中间的石英玻璃长度H固定，使石英玻璃在激励腔组合中维持平衡，不受激励腔组合的摆放位置影响，可根据需要调整等离子体火焰的方向，可克服现有技术由于石英玻璃没有完全固定，不能随意改变激励腔组合的安装方向的技术不足。

作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，进气组合包括台柱、与台柱相连的进气管；台柱与下水冷套组合的圆筒焊接在一起。

作为优选方案，以上所述的一种自动点火的微波等离子作用腔，所述的自动点火装置包括顶针、与顶针相连的介质材料、与介质材料相连的气缸、与气缸相连的支架；支架与激励腔组合相连。

作为优选方案，以上所述的自动点火装置包括顶针、介质材料、气缸和支架，顶针与介质材料、介质材料与气缸间均用螺纹连接，气缸通过螺钉与支架连接并固定在激励腔组合的法兰盘上，结构简单，方便拆卸；通过气缸对顶针的推进作用可以实现微波等离子体自动点火过程，相比现有技术，点火更加自动化，工作效率更高，其中气缸具有固定行程L；气缸与顶针间的介质材料在微波等离子体点火过程中起到了很好的绝缘作用，可大大减小微波泄漏，相比现有技术，安全性更好。

有益效果：本实用新型提供的自动点火的微波等离子作用腔与现有技术相比具有以下优点：

本实用新型所述的自动点火的微波等离子作用腔可以实现自动点火过程，操作方便，工作效率更高，无微波泄漏，安全性能更好；同时不受工作环境及激励腔组合的摆放位置影响，根据需要调整等离子体火焰的方向，可以满足不同工作条件下的需求。

附图说明

图1是本实用新型提供的一种自动点火的微波等离子作用腔的结构示意图。

图2是本实用新型提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的激励腔组合的结构示意图。

图3是本实用新型提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的上水冷套和下水冷套组合的结构示意图。

图4是本实用新型提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的进气组合的结构示意图。

图5是本实用新型提供的一种自动点火的微波等离子作用腔中的自动点火装置的结构示意图。

具体实施方式