[实用新型]一种自动点火的微波等离子作用腔有效
申请号: | 201621095087.6 | 申请日: | 2016-09-29 |
公开(公告)号: | CN206207476U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 刘友春;杨琦;施亚玲;康新蕾;郑雷 | 申请(专利权)人: | 南京三乐微波技术发展有限公司;南京三乐电子信息产业集团有限公司 |
主分类号: | F23Q7/00 | 分类号: | F23Q7/00;F23Q7/22 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人: | 杨海军 |
地址: | 210044 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 点火 微波 等离子 作用 | ||
1.一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,它包括激励腔组合(1),分别与激励腔组合(1)相连的上水冷套组合(2)和下水冷套组合(4),固定在上水冷套组合(2)及下水冷套组合(4)中间的石英玻璃(3),与下水冷套组合(4)连接的进气组合(5)和与激励腔组合(1)相连的自动点火装置(6)。
2.根据权利要求1所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,激励腔组合(1)包括法兰盘(1-1)、与法兰盘(1-1)焊接的谐振腔(1-2)、与谐振腔(1-2)焊接的连接法兰(1-3)和焊接在谐振腔(1-2)上的端板(1-4)。
3.根据权利要求2所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,所述的上水冷套组合(2)与下水冷套组合(4)的结构相同,它们均包括圆筒(2-1)、与圆筒(2-1)焊接的水冷套(2-2)、与圆筒(2-1)及水冷套(2-2)均焊接的底法兰(2-3);底法兰(2-3)与激励腔组合(1)的连接法兰(1-3)通过螺钉固定。
4.根据权利要求3所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,进气组合(5)包括台柱(5-1)、与台柱(5-1)相连的进气管(5-2);台柱(5-1)与下水冷套组合(4)中的圆筒(2-1)焊接在一起。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种自动点火的微波等离子作用腔,其特征在于,所述的自动点火装置(6)包括顶针(6-1)、与顶针(6-1)相连的介质材料(6-2)、与介质材料(6-2)相连的气缸(6-3)、与气缸(6-3)相连的支架(6-4);支架(6-4)与激励腔组合(1)的法兰盘(1-1)相连。
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