[实用新型]一种激光压缩整形装置有效
申请号: | 201620990109.9 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN206074923U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 陈鲁;刘虹遥;杨乐;张朝前;马砚忠;路鑫超 | 申请(专利权)人: | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;H01S3/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 压缩 整形 装置 | ||
【说明书】:
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