[实用新型]一种多光束阵列振镜扫描系统

权利要求书

1.一种多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，包括振镜框体结构(5)，所述振镜框体结构上设有进光口(1)和出光口(4)，所述振镜框体结构(5)内部设有X轴阵列振镜系统(2)和Y轴振镜系统(3)，所述X轴阵列振镜系统(2)或Y轴振镜系统(3)为多个轴心线相互平行的振镜组成，经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，光束到达X轴阵列振镜系统(2)被平分为n束光强相同的平行光束，n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动，并投射到Y轴振镜系统(3)上，在Y轴振镜偏转反射带动下，n组光束在Y方向上移动，从而实现n组光束在X方向位置可控运动，在Y方向同步运动，最后该n组光束经过出光口(4)并被F-θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。

2.根据权利要求1所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，所述X轴阵列振镜系统(2)为多组镜，Y轴振镜系统为单振镜，经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，X轴阵列振镜系统(2)为n面反射率和透射率不同的振镜组成，光束到达X轴阵列振镜系统(2)后会被均分为n束光强相同的平行光束并被反射到Y轴振镜系统(3)上，Y轴振镜系统(3)反射的n束激光经过出光口(4)并被F-θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。

3.根据权利要求2所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，在通过X轴阵列振镜系统(2)时，首先经过X轴阵列振镜系统(2)第一振镜上，第一振镜将反射过来的激光一部分透射到第二振镜上，另一部分光在第一振镜偏转带动下反射Y轴振镜系统(3)上，并在Y轴振镜系统(3)偏转带动下反射经过F-θ镜聚焦到成型平面上，形成光束1，同样第二振镜接收的光，一部分透射到第三振镜上，一部分光在第二振镜偏转带动下反射Y轴振镜系统(3)上，并在Y轴振镜系统(3)偏转带动下反射经过F-θ镜聚焦到成型平面上，形成光束2，如此类推，X轴阵列振镜系统(2)有几组镜片，每次偏转反射光均为总能量的几分之一，在成形平面上也将形成几组光束。

4.根据权利要求1所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，所述Y轴振镜系统(3)为多组镜，X轴阵列振镜系统(2)为单振镜，经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，经过X轴阵列振镜系统(2)反射到Y轴振镜系统(3)上，Y轴振镜系统(3)为n面反射率和透射率不同的振镜组成，光束到达Y轴振镜系统(3)后会被均分为n束光强相同的光束，n束光强相同的光束经过出光口(4)并被F-θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。

5.根据权利要求4所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部，在通过X轴阵列振镜系统(2)时，在X振镜偏转带动下反射Y振镜组第一振镜上，第一振镜将反射过来的激光一部分透射到第二振镜上，另一部分光在第一振镜偏转带动下反射经过F-θ镜聚焦到成型平面上，形成分光束1，同样第二振镜接收的光，一部分透射到第三振镜上，一部分光在第二振镜偏转带动下反射经过F-θ镜聚焦到成型平面上，形成分光束2，同理Y轴振镜系统有几组镜片，每次偏转反射光均为总能量的几分之一。

6.根据权利要求1所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，每一面振镜均由电机驱动且可进行一定弧度的转动，振镜具有反射和透射光束的功能，其透射率和反射率随振镜排列顺序的变化而变化；阵列振镜的间距可调，每面振镜的驱动电机采用同步驱动或异步驱动的方式。

7.根据权利要求4所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，当阵列振镜数目为n时，沿光路方向的第一面振镜将反射1/n倍光束能量，其余光量均透射到第二面振镜，第二面振镜将反射剩余光束能量的1/((n-1))并透射其余光量，以此类推，光路的最后一面振镜为全反射镜，将接受到剩余的1/n倍光量并全部反射，其中n为大于1的正整数。

8.根据权利要求1所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，所述Y轴振镜系统(3)由电机驱动可进行小弧度的旋转，其转轴方向与X轴阵列振镜系统(2)的轴心线垂直，所述Y轴振镜系统(3)为当X轴或者Y轴振镜系统为单振镜时，单振镜为全反射镜片，将接收到的Y轴振镜系统(3)接收到经X轴阵列振镜系统(2)反射的等光强平行光束组并全部反射。

9.根据权利要求1所述的多光束阵列振镜扫描系统，其特征在于，出光口(4)位于阵列扫描振镜系统底部，外接F-θ镜，由Y轴振镜系统(3)反射的n束等光强平行光束通过出光口(4)并经F-θ镜聚焦，在成型平面上形成了一组个数为n的阵列光斑。