[发明专利]多部件透镜系统中的气隙区的制造

说明书

本发明公开了多部件透镜系统中的气隙区的制造。一种装置的一种实施方式包括：第一透镜，该第一透镜包括光致抗蚀剂材料图案；通过光致抗蚀剂材料与第一透镜粘合的第二透镜；以及第一透镜和第二透镜之间的气隙区。光致抗蚀剂图案限定第一透镜和第二透镜之间的气隙区。

技术领域

本公开总体涉及光学部件，尤其涉及但不局限于多部件透镜系统中的气隙区的制造。

背景技术

在很多光学应用中，多部件透镜系统的光学部件之间的气隙区的制造可能很重要。气隙界面提供低折射指数空腔，这些空腔可作为嵌入式导光光学装置的全内反射覆层。

但是，由于常规工艺需要利用低折射指数粘合剂，因此这种部件集成的应用受到限制。这种粘合剂很昂贵，需要复杂的处理，并且具有难以进行透镜加工的机械特性。

更具体地说，在透镜系统上的特定区域中限定气隙需要对粘合介质进行图案化，并从气隙区排出粘合介质。由于粘合剂以液态应用，因此不易在空间上进行控制，从而使得透镜系统的制造过程变得复杂。

附图说明

下面参照附图说明本发明的非限定性和非穷举性的实施方式，在各个附图中，除另有说明外，相似的标号代表相似的部件。附图不一定是按比例绘制的，其重点是示出本文所述的原理。

图1是一种实施方式的透镜组件的示意图；

图2A示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的初步处理；

图2B示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的光致抗蚀剂的涂覆；

图2C示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的光的空间调制；

图2D示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的光刻处理；

图2E示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的光致抗蚀剂显影剂的涂覆；

图2F示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的透镜粘合；

图3A示出了一种实施方式的用于透镜组件制造的前透镜；

图3B示出了一种实施方式的用于透镜组件制造的后透镜；

图3C示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的光致抗蚀剂涂层的涂覆；

图3D示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中使用掩模元件进行的光的空间调制；

图3E示出了一种实施方式的用于透镜组件的透镜，该透镜带有留存的曝光光致抗蚀剂；

图3F示出了一种实施方式的透镜组件制造过程中的透镜粘合；

图4A和4B示出了一种实施方式的带有利用光致抗蚀剂图案产生的气隙的透镜组件；和

图5示出了一种实施方式的制造多部件透镜的方法。

具体实施方式

用于在多部件透镜系统中制造气隙区的设备、系统和方法的实施方式：

在下面的详细说明中，阐述了各种细节，以便透彻理解这些实施方式。但是，相关领域技术人员应理解，可无需借助所述的一个或多个细节或使用其它方法、部件、材料等来实施在此所述的技术。在其它实例中，未详细示出或说明公知的结构、材料或操作，以免使某些方面变得模糊不清。

在本说明书中，“一种实施方式”指在本发明的至少一种实施方式中包括与该实施方式相关的特定特征、结构或特点。因此，在本说明书中的不同位置出现的短语在一种实施方式中不一定都指代同一种实施方式。而且，在一种或多种实施方式中，可按适当的方式组合特定特征、结构或特点。

在本文中使用以下定义：