[发明专利]多设备模块、包括该模块的装置和制造该模块的方法

说明书

本申请涉及多设备模块、包括该模块的装置和制造该模块的方法。提供一种多设备模块(61)，包括：第一基板(23)，其容纳被设计成将第一环境量转换为第一电信号的第一MEMS换能器(21，1)；集成电路(22,22’)，其被耦合到所述第一MEMS换能器以用于接收所述第一电信号；第二基板(49)，其容纳被设计成将第二环境量转换为第二电信号的第二MEMS换能器(41，42)；以及柔性印刷电路(36)，其被机械地连接到所述第一基板和所述第二基板并且被电耦合到所述集成电路和所述第二MEMS换能器，使得所述第二电信号在使用中从所述第二MEMS换能器流向所述集成电路。

技术领域

本发明涉及一种多设备换能器模块，特别是用于转换环境量，并且涉及一种包括该多设备换能器模块的装置以及涉及一种用于制造该换能器模块的方法。

背景技术

众所周知，MEMS(微机电系统)类型的声换能器(特别是麦克风)包括膜敏感结构和读取电子器件，膜敏感结构被设计成将声压波转换成电量(例如，电容变化)，读取电子器件被设计成对所述电量执行适当的处理操作(其中包括放大和滤波操作)以用于提供表示所接收的声压波的电输出信号(例如，电压)。

在使用电容感测原理的情况下，MEMS敏感结构通常包括提供为膜片或膜的面向固定电极布置的移动电极，以提供具有可变电容的感测电容器的极板。移动电极通过其通常在周边的第一部分锚定到结构层，而其大致居中的第二部分响应于由入射声压波施加的压力而自由移动或弯曲。因此，移动电极和固定电极提供电容器，并且构成移动电极的膜的弯曲导致电容根据待检测的声信号而变化。

多个MEMS麦克风通常被安装在多媒体电子设备中，比如智能手机。这是由于麦克风不仅用于转换语音信号，而且还用于诸如噪声擦除和声音记录的附加功能，并且每个麦克风均可专用于特定功能。在电子设备中集成相当多数量的麦克风(例如，从两个到七个麦克风)需要使用专用的集成电路板，并且因此对空间的占用具有相当大的影响。

此外，根据现有技术，每个MEMS麦克风被容纳在包含换能器(例如，MEMS换能器)和用于采集和预处理由换能器产生的电信号的电子器件的封装体中，通常是ASIC(专用集成电路)。显然，从成本的角度来看，这种方法不是最佳的。

上述内容的缺点可以扩展到除麦克风之外的MEMS器件，例如扩展到压力传感器或通常存在于消费电子产品中的其它换能器。

发明内容

本发明的目的是提供对前述问题的解决方案。

根据本发明，因此提供了如所附权利要求中所限定的多设备换能器模块、包括该多设备换能器模块的装置以及用于制造该换能器模块的方法。

附图说明

为了更好地理解本发明，现在仅通过非限制性示例并参考附图描述本发明的优选实施例，其中：

-图1是包括MEMS声换能器和处理电路的设备的横向剖视图；

-图2是包括MEMS声换能器的另一设备的横向剖视图；

-图3示出根据本公开的一个实施例的多设备模块，其包括通过柔性印刷电路被功能性地耦合在一起的图1和图2的设备；

-图4示出了根据本公开的一个实施例的多设备模块，其包括通过柔性印刷电路被功能性地耦合在一起并且被布置用于形成堆叠结构的图1和图2的设备；

-图5示出了根据本发明的另一实施例的多设备模块，其包括通过柔性印刷电路功能地耦合在一起并且布置在PCB(印刷电路板)的相对侧上以形成堆叠结构的、根据图1和图2的变型的换能器设备；和

-图6是包括根据本公开的任一实施例的多设备模块的电子装置的示意图。

具体实施方式