[发明专利]用以降低模具内的氧气浓度的腔室机构

权利要求书

1.一种用以降低一模具内的一氧气浓度的腔室机构，其特征在于，包含有︰

一腔体，其内形成一腔室，所述腔室用以容置所述模具；

一罩体升降机构，设置在所述腔体上；

一罩体，耦接于所述罩体升降机构且可活动地设置在所述腔室内，所述罩体上形成有一抽气空间，所述罩体升降机构带动所述罩体在所述腔室移动，其中所述罩体在被所述罩体升降机构带动至一工作位置时覆盖所述模具并使所述模具密封在所述抽气空间内；

一管路模块，包含：

一抽气管路，连接于所述罩体，所述抽气管路在所述罩体覆盖所述模具时抽取所述抽气空间内的一空气；以及

一第一充气管路，连接于所述罩体，所述第一充气管路在所述罩体覆盖所述模具时将一氮气充填入所述抽气空间内；

一真空泵，连接于所述抽气管路并用来抽取所述空气；

一控制单元，耦接于所述真空泵与所述罩体升降机构，所述控制单元用以控制所述罩体升降机构驱动所述罩体覆盖所述模具；以及

一压力感测组件，耦接于所述控制单元并用来在所述罩体覆盖所述模具时感测所述抽气空间内的一压力值，且所述控制单元在所述压力值小于一预定压力值时控制所述真空泵停止抽取所述空气。

2.如权利要求1所述的腔室机构，其特征在于，还包含有︰

一氮气源，连接于所述第一充气管路并用来提供所述氮气。

3.如权利要求1所述的腔室机构，其特征在于，还包含有：

一开关阀，设置在所述第一充气管路上且耦接于所述控制单元，所述控制单元在所述压力值小于一预定压力值时控制所述开关阀允许所述氮气经所述第一充气管路进入所述抽气空间。

4.如权利要求2所述的腔室机构，其特征在于，还包含有一第二充气管路，连接于所述腔体与所述氮气源，且所述第二充气管路将所述氮气充填入所述腔室。

5.如权利要求4所述的腔室机构，其特征在于，还包含有一节流阀，设置在所述第二充气管路上且用以调整所述氮气流经所述第二充气管路进入所述腔室的流量。

6.如权利要求1所述的腔室机构，其特征在于，所述腔体上形成有连通于所述腔室的一入口，且所述模具通过所述入口进入所述腔室。

7.如权利要求6所述的腔室机构，其特征在于，还包含有一入口闸门，所述入口闸门活动地安装在所述腔体上，以选择性地打开或封闭所述入口。

8.如权利要求7所述的腔室机构，其特征在于，还包含有一入口闸门升降机构，所述入口闸门升降机构耦接于所述入口闸门以及所述控制单元，使得所述控制单元控制所述入口闸门升降机构带动所述入口闸门选择性地打开或封闭所述入口。

9.如权利要求6所述的腔室机构，其特征在于，所述腔体上还形成有连通于所述腔室的一出口，所述出口与所述入口相对，且所述模具通过所述出口离开所述腔室。

10.如权利要求9所述的腔室机构，其特征在于，还包含有一入口闸门以及一出口闸门，所述入口闸门与所述出口闸门活动地安装在所述腔体上，所述入口闸门选择性地打开或封闭所述入口，且所述出口闸门选择性地打开或封闭所述出口。