[发明专利]薄膜电容器

说明书

薄膜电容器具备：电容器元件，其具有电介质薄膜、和隔着电介质薄膜而相互对置的一对电极层；以及一对端面电极，其形成于电容器元件的两端。一对电极层中的至少一方电极层包含铝来作为主成分，且还包含锌与镁。镁的原子浓度的峰值与锌的原子浓度的峰值相比，存在于靠近该电极层的表面的位置。该薄膜电容器具有高耐湿性。

本申请是申请号为“201280055356.4”，申请日为2012年10月18 日，发明名称为“薄膜电容器”之申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及被使用于各种电子设备、电气设备、工业设备、汽车等、 尤其是最适合混合动力汽车的电动机驱动用逆变器电路的平滑用、滤波 用、缓冲用的薄膜电容器。

背景技术

图7是现有的薄膜电容器100的示意剖视图。薄膜电容器100具备电 容器元件和形成于电容器元件两端的端面电极104、105。电容器元件具 有电介质薄膜101、及隔着电介质薄膜101而相互对置的正负的电极层 102、103。

电极层102、103由铝构成且被蒸镀在电介质薄膜101上。电极层102、 103的一端分别与端面电极104、105连接。

端面电极104、105由锌构成，通过喷射而形成。

在与端面电极104、105连接的电极层102、103的端部106、107， 在电极层102、103的表层设置有锌层。由此可以提高端面电极104、105 与电极层102、103的密接性且降低薄膜电容器100的tanδ。

其中，与薄膜电容器100类似的现有的薄膜电容器被记载于专利文献 1中。

在电极层102、103的端部106、107形成锌层之际锌有时会扩散到电 极层102、103的整体。例如，在通过蒸镀来形成锌层的情况下，难以仅 在端部106、107局部地进行蒸镀，锌的粒子也会飞散到电极层102、103 整体去。由于锌易于腐蚀，故电极层102、103的氧化不断发展，作为结 果而导致薄膜电容器100的耐湿性下降。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】JP特开2009-206296号公报

发明内容

薄膜电容器具备：电容器元件，其具有电介质薄膜、和隔着电介质薄 膜而相互对置的一对电极层；以及一对端面电极，其形成于电容器元件的 两端。一对电极层中的至少一方电极层包含铝来作为主成分，且还包含锌 与镁。镁的原子浓度的峰值与锌的原子浓度的峰值相比，存在于靠近该电 极层的表面的位置。

该薄膜电容器具有高耐湿性。

附图说明

图1是实施方式中的薄膜电容器的剖视图。

图2是实施方式中的薄膜电容器的电极层的俯视图。

图3是表示实施方式中的薄膜电容器的制造方法的示意图。

图4是表示实施方式中的薄膜电容器的电极层的组成的图。

图5是表示实施方式中的薄膜电容器的耐电压试验的结果的图。

图6是表示实施方式中的薄膜电容器的耐湿性试验的结果的图。

图7是现有的薄膜电容器的示意剖视图。

具体实施方式