[发明专利]用于光学探针的模块化微光学器件有效
申请号: | 201611151772.0 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN106907989B | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | A·帕杜切;托马斯·延森 | 申请(专利权)人: | 赫克斯冈技术中心 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王小东 |
地址: | 瑞士赫*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 光学 探针 模块化 微光 器件 | ||
1.一种光学探针组件(60)的探针本体(11,61),该光学探针组件(60)被设计成用于在由坐标测量机器的探头承载的同时测量距对象的距离,该探针本体(11,61)包括:
·位于所述探针本体(11,61)的第一端的联接单元(13a,13b),该联接单元被设计成用于提供所述探针本体(11,61)与坐标测量机器的探头的联接;
·光导元件(12,62),该光导元件用于将由所述探头供应的原始源光从所述联接单元(13a,13b)传输到所述探针本体(11,61)的第二端;以及
·触针(14,64),其中所述触针(14,64)的自由端代表所述第二端,
其特征在于,位于所述探针本体(11,61)的第二端的微光学器件探针接口(20,20’,66),该探针接口(20,20’,66)包括:
·源光发射元件(15,65),该源光发射元件相对于所述第二端以限定方向提供所述原始源光的发射,该原始源光的发射基本具有由所述光导元件(12,62)限定和/或由所述源光发射元件(15,65)限定的发射散度;以及
·机械探针联接部(21,67),该机械探针联接部(21,67)被设计成接收由所述光学探针组件(60)的光束限定光学部件(30,40,50,50’,71)的机械部件联接部提供的联接配对件(31,41),
其中
·所述原始源光能够由所述探针本体(11,61)以所述发射散度提供;并且
·具有用于测量的期望测量光特性的期望测量光能够通过联接所述光束限定光学部件(30,40,50,50’,71)来提供。
2.根据权利要求1所述的探针本体(11,61),其特征在于,所述光导元件:
·以光纤或自由光束光学器件来代表;和/或
·包括透镜。
3.根据权利要求1或2所述的探针本体(11,61),其特征在于,
·所述源光发射元件由套管来代表;并且/或者
·所述源光发射元件包括透镜。
4.根据权利要求1或2所述的探针本体(11,61),其特征在于,所述机械探针联接部(21,67)包括球支承部的至少一个球体(23’,33’,43),或者球支承部的至少一个球体配对件(23,33)。
5.根据权利要求1或2所述的探针本体(11,61),其特征在于,所述机械探针联接部(21,67)包括至少一个磁性元件(22,22’),用于产生用于连接所述光束限定光学部件(30,40,50,50’,71)的保持力。
6.根据权利要求4所述的探针本体(11,61),其特征在于,所述机械探针联接部(21,67)包括所述球支承部的三个球体。
7.一种光学探针组件(60)的光束限定光学部件(30,40,50,50’,71),该探针组件(60)被设计成用于在由坐标测量机器的探头承载的同时测量距对象的距离并且包括根据权利要求1或2所述的探针本体(11,61),所述光束限定光学部件(30,40,50,50’,71)包括:
·具有机械部件联接部的微光学器件部件接口,该机械部件联接部被设计成将所述光束限定光学部件(30,40,50,50’,71)联接至由位于所述光学探针组件(60)的所述探针本体(11,61)的所述第二端处的所述机械探针联接部(21,67)提供的配对件;以及
·光操纵光学元件(36,46,48,51,52),该光操纵光学元件被设计成基于由所述探针本体(11,61)提供的原始源光的操纵来提供具有期望测量光特性的期望测量光。
8.根据权利要求7所述的光束限定光学部件(30,40,50,50’,71),其特征在于,该光操纵光学元件(36,46,48,51,52)被构建为如下光学元件中的一个或如下光学元件的组合:
·至少一个透镜;
·棱镜;
·反射镜;
·光导元件,该光导元件被实施为自由光束光学器件或光纤;和
·致动器。
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