[发明专利]液体材料气化装置有效
申请号: | 201611127279.5 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN106906452B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 伊东丈智;井上正规 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 材料 气化 装置 | ||
1.一种液体材料气化装置,其特征在于,包括:
气液混合部,将液体材料和气体混合而生成气液混合体;以及
气化部,加热所述气液混合体,使所述液体材料气化,
所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管,
所述气化部具有加热用配管,所述加热用配管形成有加热所述气液混合体的加热流道,
所述气液混合体导出管的具有导出口的前端部分在所述加热用配管的内部配置成与所述加热用配管隔开间隙而不接触,
所述气化部具有第一连接部,所述第一连接部与所述加热流道连通并向加热模块的外部伸出,
所述气液混合体导出管具有第二连接部,所述第二连接部设置在所述气液混合体导出管的与所述导出口相反侧的外周部,并与所述第一连接部连接,
在所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内的状态下,所述第一连接部和所述第二连接部彼此连接。
2.根据权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述加热用配管内置于所述加热模块,所述加热模块内置有加热器。
3.根据权利要求1或2所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述气液混合体导出管的内部流道整体呈等断面形状。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的