[发明专利]一种集成电路生产线设备常量监控的方法在审

专利信息
申请号: 201611116100.6 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN108170103A 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 曹阳;祁峰;杨娇;姚呈呈;闫洪旭;白媛;姬小兵;徐增利;王晶;张丽丽 申请(专利权)人: 沈阳中科博微科技股份有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 李巨智
地址: 110179 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
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【说明书】:

发明涉及一种集成电路生产线上设备常量监控的方法,配置设备常量数据文件,形成设备常量数据配置文件;获取设备常量数据配置文件的路径,并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件,读取设备常量数据配置文件的设备常量信息,存放入内存中;根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息,并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比,进行检查和校验,存储至服务器。本发明方法利用设备常量配置文件,从设备中实时读取对应的设备常量数据值,对读取的设备常量数据值进行范围校验,能够实现实时监控设备常量数据值是否出现异常的问题、具有很强的实时性和扩展性等特点。

技术领域

本发明涉及一种设备常量监控的方法,具体地说是一种集成电路生产线设备常量的监控方法。

背景技术

在集成电路生产线设备管理系统中,需要对生产线上所有的设备进行设备常量的监控和管理操作,现在本领域现状,以及存在的问题是设备常量的监控和管理操作由设备工程师在设备本地控制系统中定期去查询,但在整个生产线中会面临设备种类繁多,设备常量差异很大,操作和监控难度大等问题。上述方式需要每个设备厂商定期指派设备工程师在现场进行维护,实施起来难度大,效率低,不仅增加了维护难度,而且不能做到实时监控和维护设备常量的变化,并及时给出报警提示,这些问题也是我们需要解决的技术问题。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明提供一种高效的用于集成电路生产线设备常量的监控方法。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是:

一种集成电路生产线上设备常量监控的方法,包括以下步骤:

步骤1:配置设备常量数据文件,形成设备常量数据配置文件;

步骤2:获取设备常量数据配置文件的路径,并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件,如果是,则执行步骤3,否则抛出错误信息并退出;

步骤3:读取设备常量数据配置文件的设备常量信息,存放入内存中;

步骤4:根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息,并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比,进行检查和校验,存储至服务器。

所述设备常量配置文件以XML格式保存在数据配置服务器上,文件内部结构包含若干节点,一个节点存放一条设备常量信息。

所述设备常量数据配置文件的路径是由数据配置服务器的路径和设备常量配置文件的名称组合而成。

所述检查和校验过程为:

如果实时的设备常量数据值在设备常量配置文件里数据项配置的数据范围内,则将该实时的设备常量信息存储至服务器;否则给出报警信息,并将异常数据信息存储至服务器。

所述实时的设备常量信息包括数据编号,数据名称,当前数值,记录时间。

所述异常数据信息包括数据编号,数据名称,当前数值,数据范围,记录时间和报警信息描述。

所述设备常量信息包括:数据编号、数据名称、数据类型、数据范围和数据异常提示信息。

本发明具有以下有益效果及优点:

1、设备常量监控实时性强。本发明是针对生产线各种类型的设备,将设备常量信息整合成设备常量数据配置文件,系统运行时依据设备常量配置文件从生产线设备中读取设备常量数据值,可以实现对设备常量的实时监控。

2、具有很强的扩展性。可以根据实际需要,在设备常量数据配置文件上增加或删除某些设备常量信息,使存储的设备常量文件保存实际需要保存的设备常量信息,而不必改动程序代码,从而具有很强的扩展性。

附图说明

图1是本发明的设备常量监控流程图;

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