[发明专利]一种集成电路生产线设备常量监控的方法

权利要求书

1.一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；

步骤2：获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，如果是，则执行步骤3，否则抛出错误信息并退出；

步骤3：读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；

步骤4：根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。

2.根据权利要求1所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述设备常量配置文件以XML格式保存在数据配置服务器上，文件内部结构包含若干节点，一个节点存放一条设备常量信息。

3.根据权利要求1所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述设备常量数据配置文件的路径是由数据配置服务器的路径和设备常量配置文件的名称组合而成。

4.根据权利要求1所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述检查和校验过程为：

如果实时的设备常量数据值在设备常量配置文件里数据项配置的数据范围内，则将该实时的设备常量信息存储至服务器；否则给出报警信息，并将异常数据信息存储至服务器。

5.根据权利要求4所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述实时的设备常量信息包括数据编号，数据名称，当前数值，记录时间。

6.根据权利要求4所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述异常数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，数据范围，记录时间和报警信息描述。

7.根据权利要求1或2所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述设备常量信息包括：数据编号、数据名称、数据类型、数据范围和数据异常提示信息。