[发明专利]铸造工具的涂刷方法

说明书

本发明提供一种铸造工具的涂刷方法，所述铸造工具用于对熔融金属进行铸造，包括：提供铸造工具，所述铸造工具具有与熔融金属相接触的内壁；提供喷漆枪，所述喷漆枪内具有涂料；通过喷漆枪将所述涂料喷射至所述内壁上，形成涂料层。本发明通过喷漆枪将涂料喷射至铸造工具内壁上形成涂料层；相比采用刷子进行涂刷的方式，采用喷漆枪的方式，一方面可以提高所喷射出的涂料在所述内壁上的附着力；另一方面，可以提高所喷射出的涂料在所述内壁上的沉积均匀性；综合以上两方面，可以避免所形成涂料层发生局部脱落的问题，相应可以避免脱落的涂料层混入熔融金属中，还可以避免所述铸造工具的内壁与熔融金属相接触，从而可以避免对所述熔融金属造成污染。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种铸造工具的涂刷方法。

背景技术

靶材生产用铸锭为用作靶材的材料，例如脉冲激光沉积或电子束沉积以形成薄膜的工艺中，半导体靶材用铸锭的质量对所沉积薄膜的质量具有关键作用。因此，对所形成铸锭的纯度和固体杂质的要求也相应较高。

目前半导体靶材用铸锭的铸造工艺主要包括：将真空熔炼后的熔融金属经流槽流入耐高温的中空铸型内，经冷凝后，得到预设直径的铸锭。

但是，现有技术所形成铸锭的纯度较低，良率较差。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种铸造工具的涂刷方法，提高所形成铸锭的纯度，改善所述铸锭的良率。

为解决上述问题，本发明提供一种铸造工具的涂刷方法，所述铸造工具用于对熔融金属进行铸造，包括：提供铸造工具，所述铸造工具具有与熔融金属相接触的内壁；提供喷漆枪，所述喷漆枪内具有涂料；通过喷漆枪将所述涂料喷射至所述内壁上，形成涂料层。

可选的，所述涂料所含元素与所述熔融金属所含元素相同。

可选的，所述熔融金属为铝液；所述涂料的材料为三氧化二铝。

可选的，提供铸造工具后，将所述涂料喷设至所述内壁上之前，所述涂刷方法还包括：对所述铸造工具进行第一热处理。

可选的，对所述铸造工具进行第一热处理的步骤包括：将所述铸造工具置于密封高温烘箱中进行第一热处理，所述第一热处理的工艺温度为150℃至250℃，工艺时间为1小时至2小时。

可选的，通过喷漆枪将所述涂料喷射至所述内壁上的步骤中，采用所述喷漆枪，对所述内壁至少进行一次喷射工艺。

可选的，形成涂料层的步骤包括：采用所述喷漆枪，对所述内壁进行第一喷射工艺，形成初始涂料层；采用所述喷漆枪，对厚度较小的初始涂料层位置处进行第二喷射工艺，形成涂料层。

可选的，对所述内壁进行第一喷射工艺后，进行第二喷射工艺之前，所述涂刷方法还包括：对所述铸造工具进行第二热处理。

可选的，对所述铸造工具进行第二热处理的步骤包括：将所述铸造工具置于密封高温烘箱中进行第二热处理，所述第二热处理的工艺温度为150℃至250℃，工艺时间为0.5小时至1小时。

可选的，对厚度较小的初始涂料层位置处进行第二喷射工艺后，所述涂刷方法还包括：对所述铸造工具进行第三热处理。

可选的，对所述铸造工具进行第三热处理的步骤包括：将所述铸造工具置于密封高温烘箱中进行第三热处理，所述第二热处理的工艺温度为150℃至250℃，工艺时间为20分钟至40分钟。

可选的，所述喷漆枪包括涂料壶、雾化机构和喷嘴，所述涂料位于所述涂料壶内；将所述涂料喷设至所述内壁上的步骤中，所述涂料壶内的涂料经所述雾化机构后，由喷嘴喷射至所述铸造工具的内壁表面。

可选的，将所述涂料喷设至所述内壁上的步骤中，采用的气压范围为4Mpa至6Mpa。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：