[发明专利]一种利用MOCVD设备对石墨托盘进行腐蚀清洗的方法有效
| 申请号： | 201610362921.1 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN105834171B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 张雨;于军;吴德华;张新;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;C23C16/458;C30B25/12 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 mocvd 设备 石墨 托盘 进行 腐蚀 清洗 方法 | ||
【权利要求书】：
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