[发明专利]一种波面离焦校正装置

权利要求书

1.一种波面离焦校正装置，其特征是：包括有镜片、冷却腔、水管、底座、进水口、出水口和支座；所述镜片粘结在冷却腔上；所述驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；所述水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；所述底座固定在支座上；所述支座上设置有进水孔和出水孔；所述水管的进水口从支座的进水孔穿出；所述水管的出水口从支座的出水孔穿出。

2.根据权利要求1所述的一种波面离焦校正装置，其特征是：所述支座的方形通孔中设置有用于给驱动器提供驱动电压和控制信号的接插件。

3.根据权利要求1所述的一种波面离焦校正装置，其特征是：所述镜片的材料与冷却腔的材料性能相匹配；所述冷却腔的边缘上设置有加强筋。

4.根据权利要求1所述的一种波面离焦校正装置，其特征是：所述镜片圆心处设置有一个驱动器，圆周上根据波面离焦的形状设置多个驱动器，给不同驱动器加载不同的电流或电压，可以校正不同的离焦形状。

5.根据权利要求1所述的一种波面离焦校正装置，其特征是：所述冷却腔内充满冷却物质，冷却物质为水等流动性较大的液体或气体；所述冷却物质从进水口流入冷却腔，然后从出水口流出。

6.根据权利要求1所述的一种波面离焦校正装置，其特征是：所述接插件为驱动器与控制系统的驱动接口。