[发明专利]晶圆夹持机构

权利要求书

1.一种晶圆加持机构，其特征在于，包括：

转盘；

多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转 盘上，所述卡爪用于将所述晶圆夹持在所述转盘上；

弹性夹持力组件，所述弹性夹持力组件设置成用于提供给所述活动卡爪夹持所述晶圆 的弹性夹持力。

2.根据权利要求1所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述转盘上设置有枢转轴，所 述活动卡爪可绕所述枢转轴转动，所述弹性夹持力组件设置在所述枢转轴的远离所述晶圆 的一侧。

3.根据权利要求2所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述弹性夹持力组件包括：压 簧，所述压簧的两端分别连接在所述活动卡爪和所述转盘上。

4.根据权利要求3所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述转盘包括：本体和设置在 所述本体一侧的支撑座，所述本体上设置有用于安装所述活动卡爪的避让槽，所述支撑座 上设置有配合槽，

其中，所述配合槽或所述避让槽内设置有支撑销，所述支撑销构成所述枢转轴。

5.根据权利要求4所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述支撑座上设置有与所述活 动卡爪相对且邻近所述转盘中心的端板，所述压簧连接在所述端板的一侧和所述活动卡爪 之间。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述支撑座上设置 有与所述活动卡爪相对且邻近所述转盘中心的端板，所述弹性夹持力组件包括：拉簧和驱 动杆，所述拉簧连接在所述端板的远离所述活动卡爪的一侧和所述驱动杆之间，且所述驱 动杆的一端止抵在所述活动卡爪上。

7.根据权利要求6所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述端板上设置有供所述驱动 杆穿过的通孔。

8.根据权利要求7所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述驱动杆构造成L形结构， 所述驱动杆的短肢与所述拉簧相连，所述驱动杆的长肢穿设在所述通孔上且一端止抵在所 述活动卡爪上。

9.根据权利要求2所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述活动卡爪的邻近所述晶圆 的一端到所述枢转轴的惯性矩小于另一端到所述枢转轴的惯性矩。

10.根据权利要求1所述的晶圆加持机构，其特征在于，还包括：推杆，所述推杆适 于驱动所述活动卡爪解除对所述晶圆的夹持。

11.根据权利要求1所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述多个卡爪还包括：至少 一个固定卡爪，所述至少一个固定卡爪固定在所述转盘上。

12.根据权利要求12所述的晶圆加持机构，其特征在于，所述固定卡爪的数量为a， 所述活动卡爪的数量为b，a+b≥3。

13.根据权利要求1所述的晶圆加持机构，其特征在于，两个相邻的所述卡爪所对应 的圆心角小于180°。