[发明专利]具有贴附式探针的检测装置

说明书

一种具有贴附式探针的检测装置，其包含一座体（100）以及一探针（200）。座体（100）设置有一载台（140），探针（200）具有一探针座体（210）以及自探针座体（210）的一端的侧面延伸而出的一针尖（220），探针座体（210）的另一端借由一贴片（230）粘附于座体（100），且探针座体（210）能够被从座体（100）拔除，针尖（220）邻近载台（140）并且朝向载台（140）配置。探针座体（210）直接贴附在座体（100）且易于被从座体（100）上拔除，因此易于更换探针（200）。

技术领域

本发明有关于检测装置，尤指一种易于更换探针的具有贴附式探针的检测装置。

背景技术

原子力显微镜为一种用于检测微小对象的检测装置。原子力显微镜借由一探针接触对象的表面并且沿对象表面移动，再借由光杠杆来读取探针的微小作动，因此而能够精确量测到微小对象的外形。探针具有一探针座体以及自探针座体的一端的侧面延伸而出的一针尖，且探针座体的另一端固定。当针尖沿对象表面移动时，针尖能够借由探针座体弹性弯曲而动作。

原子力显微镜使用时，针尖沿对象表面移动并且与对象表面磨擦而磨损。当针尖磨损致一定程度时，必须更换探针才能确保量测数据的精确度。一般而言，探针是被一夹具夹持以便于更换。探针座体若水平配置，则探针座体与对象表面之间仅存在等同于针尖长度的间隙，由于夹具的尺寸较探针大，探针座体必须要配置成相对于对象的表面倾斜相当大的夹角才足以容纳夹具。其缺点在于当夹具过度接近对象的表面时，探针座体会被过度弯曲而折断。

发明内容

技术问题

本发明提供一种易于更换探针的检测装置。

技术解决方案

本发明提供一种具有贴附式探针的检测装置，其包含一座体、一载台以及一探针。载台设置在座体，探针具有一探针座体以及自探针座体的一端的侧面延伸而出的一针尖，探针座体的另一端借由一贴片粘附于座体，且探针座体能够被从座体拔除，针尖邻近载台并且朝向载台配置。

较佳地，贴片的二面分别涂布有粘胶，且贴片的二面分别粘贴探针座体及延伸臂。

粘胶的粘着力介于5 g /25mm～50 g/25mm 之间。粘胶可以为感压胶。粘胶可以为硅类粘胶。

较佳地，座体包含有一延伸臂，探针座体粘附于延伸臂。延伸臂朝向载台延伸以供粘附探针座体。座体包含一下座部以及承载于下座部上的一上座部，载台承载于下座部上且探针座体设置在上座部。延伸臂的一端锁附在上座部，延伸臂的另一端朝向载台延伸以供粘附探针座体。探针座体与载台相互平行配置。

有益效果

本发明的具有贴附式探针的检测装置，其探针座体直接贴附在座体，且探针座体易于被从座体上拔除，因此易于更换探针。

附图说明

图 1 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置的示意图。

图 2 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置的示意图。

图 3 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针的示意图。

图 4 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针的示意图。

图 5 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针针尖的示意图。

附图标记说明

10 待测物

100 座体

110 下座部

120 上座部

130 支脚