[发明专利]减振装置及其所使用的研磨减振模块与滚刀减振模块有效

专利信息
申请号: 201510888975.7 申请日: 2015-12-07
公开(公告)号: CN106695468B 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 张詠棋;锺允睿;郑傑;林国暐 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: B24B3/12 分类号: B24B3/12;B24B47/12;F16F15/28
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;李岩
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 装置 及其 使用 研磨 模块 滚刀减振
【权利要求书】:

1.一种研磨减振模块,其特征在于,应用于一研磨机台,该研磨减振模块具有:

一第一方向单元,其设置于该研磨机台上;

一第二方向单元;

一连动单元,其穿设于该第一方向单元与该第二方向单元;

一驱动单元,其耦接该连动单元;以及

一配重单元,该配重单元设于该第二方向单元的上方;

该第一方向单元具有一第一套筒与一第一滑动座,该第一滑动座的顶端供该研磨机台设置,该第一套筒设于该第一滑动座的底端,该第一套筒为一正向套筒,该第一套筒带动该第一滑动座,该连动单元穿设于该第一套筒;

该第二方向单元具有一第二套筒与一第二滑动座,该第二套筒设于该第二滑动座的底端,该第二套筒为一逆向套筒,该第二套筒带动该第二滑动座,该配重单元设于该第二滑动座的顶端,该连动单元穿设于该第二套筒;

其中,通过该第一滑动座与该第二滑动座向相互相反方向的移动以使该研磨机台维持一平衡状态。

2.如权利要求1所述的研磨减振模块,其特征在于,该连动单元具有至少一螺杆,该螺杆穿设于该第一套筒。

3.如权利要求1所述的研磨减振模块,其特征在于,该连动单元具有至少一螺杆,该螺杆穿设于该第二套筒。

4.如权利要求1所述的研磨减振模块,其特征在于,该驱动单元为一马达、一齿轮总成或一螺杆总成。

5.如权利要求1所述的研磨减振模块,其特征在于,该驱动单元设于一滑座,该滑座设于一固定座,该第一方向单元、该第二方向单元与该连动单元设于该固定座的上方。

6.一种减振装置,其特征在于,应用于一研磨机台,该研磨机台具有一工件夹具,该减振装置包含有:

一研磨减振模块,其具有:

一第一方向单元,其设置于该研磨机台上;

一第二方向单元;

一连动单元,其穿设于该第一方向单元与该第二方向单元;以及

一驱动单元,其耦接该连动单元;

一配重单元,该配重单元设于该第二方向单元的上方;以及

一滚刀减振模块,其具有:

一支撑单元,其设于该工件夹具之间;以及

一拉动单元,其耦接该支撑单元与该研磨机台;

该第一方向单元具有一第一套筒与一第一滑动座,该第一滑动座的顶端供该研磨机台设置,该第一套筒设于该第一滑动座的底端,该第一套筒为一正向套筒,该第一套筒带动该第一滑动座,该连动单元穿设于该第一套筒;

该第二方向单元具有一第二套筒与一第二滑动座,该第二套筒设于该第二滑动座的底端,该第二套筒为一逆向套筒,该第二套筒带动该第二滑动座,该配重单元设于该第二滑动座的顶端,该连动单元穿设于该第二套筒;

其中,通过该第一滑动座与该第二滑动座向相互相反方向的移动以使该研磨机台维持一平衡状态。

7.如权利要求6所述的减振装置,其特征在于,连动单元具有至少一螺杆,该螺杆穿设于该第一套筒。

8.如权利要求6所述的减振装置,其特征在于,该连动单元具有至少一螺杆,该螺杆穿设于该第二套筒。

9.如权利要求6所述的减振装置,其特征在于,该驱动单元为一马达、一齿轮总成或一螺杆总成。

10.如权利要求6所述的减振装置,其特征在于,该驱动单元设于一滑座,该滑座设于一固定座,该第一方向单元、该第二方向单元与该连动单元设于该固定座的上方。

11.如权利要求6所述的减振装置,其特征在于,该支撑单元具有一组支撑臂与一承靠座,该组支撑臂设于该承靠座。

12.如权利要求11所述的减振装置,其特征在于,该拉动单元具有一第三套筒,该第三套筒设于该承靠座,该连动单元穿设于该第三套筒。

13.如权利要求12所述的减振装置,其特征在于,该第三套筒为一逆向套筒或一正向套筒,该连动单元具有至少一螺杆,该螺杆穿设于该第三套筒。

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