[发明专利]一种二硼化钛-碳化钛复合薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种一种二硼化钛-碳化钛复合薄膜的制备方法，其特征是在有机溶剂复合电沉积液中，在低温常压条件下，采用等离子体电沉积方法制备二硼化钛-碳化钛复合薄膜。

2.根据权利要求1所述的有机溶剂复合电沉积液体系，其特征是以有机试剂作为碳化钛薄膜的前体，有机溶剂为二硼化钛粉末的载体，也可配有导电剂，有机试剂优选低分子量的有机溶剂。

3.根据权利要求2所述的有机溶剂复合电沉积液体系，其特征是：有机钛15~30%，有机溶剂50~65%，二硼化钛粉末5~10%，导电介质1%。

4.根据权利要求1的等离子体电沉积方法，其特征是采用恒压等离子体电沉积模式进行，或采用恒流等离子体电沉积模式进行。

5.根据权利要求1，其特征是在液相等离子体电沉积过程中电解液的温度保持在30℃~100℃，优选为50℃~80℃。

6.根据权利要求1，其特征是在液相等离子体电沉积过程中电压变化区域为1000V~3000V。

7.根据权利要求1其特征是阴阳极面积比为1：1~1：2，极间距为5mm~30 mm，作为基体材料（阴极或阴极的衬底材料）可以是任一导电材料或带有导电层的材料，如铝合金、不锈钢、高速钢、硬质合金、钛合金、硅片、导电玻璃、导电塑料及其他金属或合金材料等 。