[实用新型]温场可调的保温结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蓝宝石单晶生长技术领域的保温结构，本实用新型尤其是涉及一种温场可调的保温结构。

背景技术

对蓝宝石单晶生长影响最大的因素就是温场，同时温场也是晶体内部品质的重要影响因素之一。对蓝宝石单晶炉温场起到影响作用的主要因素有：加热器、保温结构及循环冷却水。其中加热器基本上是固定不变的，循环冷却水对温场的影响很小，要想创造良好的温场主要是通过设计良好的保温结构来实现的。

近年来出现了不少围绕着保温结构而设计出的温场方案，但适合大尺寸蓝宝石晶体生长的基本上只有以钼钨为主要保温材料的金属温场和用氧化锆及氧化铝等陶瓷材料为主要保温材料的新型陶瓷温场。陶瓷温场相对于金属温场有着保温性好、功耗低、成本低、易调节温度梯度、易更换、使用寿命长等特点，但其均匀性要稍逊于金属温场，同时保温块（砖）中含有的粘合剂等物质会在高温条件下挥发，对蓝宝石晶体的生长环境造成一定的影响。随着市场对蓝宝石晶体尺寸及质量要求越来越高，一种均匀性好、易调节、挥发性小的温场设计是十分必要的。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以实现温场调节、保温性与均匀性均较好的温场可调的保温结构。

按照本实用新型提供的技术方案，所述温场可调的保温结构，在下保温板的外圆上套接有内保温套，在内保温套的外侧间隔套接有中保温套，在内保温套的外圆底端部与中保温套的外圆底端部之间设有底部连接环，在内保温套与中保温套之间设有保温填料，在中保温套的外圆上套接有外保温套，在下保温板的上表面设有上保温板，上保温板的外圆与所述内保温套内圆之间具有间隙，在下保温板与上保温板上均开设有坩埚底座安装孔。

所述下保温板为氧化铝材质。

所述保温填料为锆砂材质。

所述外保温套为氧化铝材质。

所述上保温板为钨片或者钼片。

所述内保温套、中保温套和底部连接环采用钼材料制成。

本实用新型可得到合适蓝宝石单晶生长的温场，从而解决了蓝宝石单晶生长炉温场不易调节的问题；本实用新型能够有效的确保温场的保温性和均匀性，降低能耗、节省成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。

该温场可调的保温结构，在下保温板1的外圆上套接有内保温套2，在内保温套2的外侧间隔套接有中保温套3，在内保温套2的外圆底端部与中保温套3的外圆底端部之间设有底部连接环5，在内保温套2与中保温套3之间设有保温填料4，在中保温套3的外圆上套接有外保温套6，在下保温板1的上表面设有上保温板7，上保温板7的外圆与所述内保温套2内圆之间具有间隙，在下保温板1与上保温板7上均开设有坩埚底座安装孔，坩埚底座安装孔在使用时用于安装坩埚底座8。

所述下保温板1为氧化铝材质。

所述保温填料4为锆砂材质。

所述外保温套6为氧化铝材质。

所述上保温板7为钨片或者钼片。

所述内保温套2、中保温套3和底部连接环5采用钼材料制成。

本实用新型中，下保温板1、内保温套2、中保温套3、保温填料4、底部连接环5、外保温套6和上保温板7呈同轴设置。

本实用新型中，下保温板1和上保温板7统称为下层保温结构。

本实用新型中，内保温套2、中保温套3、保温填料4、底部连接环5和外保温套6统称为圆周保温结构。

本实用新型通过调节圆周保温结构和下层保温结构来实现温场调节，可得到合适蓝宝石单晶生长的温场，从而解决了蓝宝石单晶生长炉温场不易调节的问题。具体地，若增加圆周保温结构中氧化铝材质的外保温套6或锆砂材质的保温填料4厚度，保温效果增强，温度梯度减小，反之则增大；若增加下层保温结构中下上保温板7的层数或氧化铝材质的下保温板1的厚度，保温效果增强，温度梯度减小，反之则增大。

本实用新型采用锆砂材质的保温填料4和氧化铝材质的外保温套6的组合，能够有效的确保温场的保温性和均匀性，降低能耗、节省成本。同时由于氧化铝材质的外保温套6处于温度相对较低的外层，大大降低了氧化铝材质的外保温套6中粘合剂的挥发及对内层晶体生长环境的影响，提高了晶体品质。