[实用新型]一种新型抛光液桶

说明书

技术领域

本实用新型涉及抛光机用附件领域，特别地，涉及一种新型抛光液桶。

背景技术

蓝宝石晶体(a-Al₂O₃)因为具有特殊的物理、化学、光学特性，被广泛用于视窗材料、半导体材料，成为目前光学、半导体行业最热门的新型材料之一。蓝宝石晶体的物理特性之一是硬度非常大，莫氏硬度达到9，仅次于最硬的金刚石材料(莫氏硬度达到10)，加工过程非常困难，尤其是蓝宝石的抛光，无论是作为半导体材料还是作为视窗材料，都需要将蓝宝石加工表面进行抛光，得到纳米级表面精度，而蓝宝石的抛光只能利用抛光液对蓝宝石的水化作用，通过物理抛光的方法进行加工，因此，抛光液在蓝宝石晶体的抛光过程中起着关键性作用。

抛光液是一种铝溶胶或者硅溶胶材料，而此种材料主要成分是纳米级别的溶胶粒子，溶胶颗粒的大小、形貌是影响抛光液抛光效率的关键因素，在加工过程中，因为受到物理、化学共同作用，溶胶颗粒会破损，直接表现为pH值下降。抛光液浓度也是影响抛光液稳定性的关键因素，浓度降低，抛光液抛光效果明显降低，而且会影响抛光盘面的温度；浓度过高，设备摩擦阻力过大，影响设备正常运转。抛光是化学作用和物理作用的结合，所以温度是影响抛光液抛光效率最主要的影响因素，在不破坏硅溶胶本身状态的前提下，温度越高，化学作用越强，而目前采用的抛光液桶主要是集中在抛光液怎么样实现冷却的研究上，没有抛光液加热系统，这个系统需要靠抛光本身摩擦生热来加热整个系统，这样势必会降低抛光液前期的抛光效率。现有技术中，因为抛光液是溶胶，容易结晶，结晶会污染抛光液，甚至破坏蓝宝石表面精度，因此，抛光效果不好。

对比现有的抛光工艺可知，设计一种能够同时实现抛光液的温度、浓度、pH值控制的抛光机用附属设备具有重要的意义。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种结构精简、能同时实现抛光液的浓度、pH值监控的新型抛光液桶，具体技术方案如下：

一种新型抛光液桶，包括桶体、pH值监控补偿部件以及浓度监控补偿部件；

所述桶体包括圆柱形外壳以及设置在所述圆柱形外壳内部的内胆，所述圆柱形外壳与所述内胆之间形成通道，所述通道的进口和出口均位于所述圆柱形外壳的中上部；所述内胆上 设有进液口以及出液口，所述进液口与所述内胆的内腔的上部连通，所述出液口与所述内胆的内腔的下部连通，且所述出液口通过回流泵以及回流管道与所述内胆的内腔的上部连通；

所述pH值监控补偿部件包括pH值感应探头、碱液存储装置以及第一调节开关，所述pH值感应探头设置在所述内胆的内腔的下部内，所述碱液存储装置通过第一管路与所述内胆的内腔连通，所述第一调节开关设置在所述第一管路上；

所述浓度监控补偿部件包括浓度感应探头、抛光液存储装置以及第二调节开关，所述浓度感应探头设置在所述内胆的内腔的下部内，所述抛光液存储装置通过第二管路与所述内胆的内腔连通，所述第二调节开关设置在所述第二管路上。

以上技术方案中优选的，所述pH值感应探头为TONGKA PH305；所述浓度感应探头为TQ-886振动式密度计，其测量范围为0-3g/cm³，其测量精度为0.01g/cm³；所述第一调节开关为PH自动补偿泵，所述第二调节开关为密度自动补偿泵。

为了达到更好的技术效果，还包括数字控制器，所述回流泵、pH值感应探头、第一调节开关、浓度感应探头以及第二调节开关均与所述数字控制器连接。

以上技术方案中优选的，所述数字控制器上设有显示屏、报警指示灯以及用于设定参数的键盘。

为了达到更好的技术效果，还包括温度监控补偿部件，所述温度监控补偿部件包括温度传感器以及冷热介质循环管，所述温度传感器设置在所述内胆的内腔的下部内，所述冷热介质循环管包括第一组单管以及第二组单管，所述第一组单管的入口端与外界冷热介质储存器连通，其出口端与所述通道的进口端连通，且所述第一组单管上设有热介质流通阀门以及冷介质流通阀门；所述第二组单管的入口端与所述通道的出口端连通，其出口端与外界冷热介质储存器连通；所述温度传感器、热介质流通阀门以及冷介质流通阀门均与所述数字控制器连接。

为了达到更好的技术效果，还包括过滤部件，所述过滤部件包括两组过滤器，一组所述过滤器设置在与所述进液口连通的管道上，另一组所述过滤器设置在与所述回流管道连通的管道上，且位于所述出液口与所述回流泵之间。