[实用新型]用于光罩化学制程的夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及光罩制作技术领域，尤其涉及一种用于光罩化学制程的夹具。

背景技术

大尺寸、高精度、细线宽、高效率和低成本的集成电路，是半导体器件生产制造的发展方向，而光罩是制造半导体器件的关键工具，随着半导体行业的高速发展，对光罩的需求也渐渐呈现上升趋势，现有的光罩的制造技术已满足不了持续高速发展的需要。

这是因为，现有的光罩在曝光完成后，采用人工湿法进行化学制程，步骤如下：1）操作人员带上无尘手套，双手卡住光罩两端，将光罩膜面向上置于制程药液中；2）轻轻晃动盛放药液的槽体；3）按规定时间完成化学制程后快速将光罩取出，冲水。

上述化学制程采用手工直接操作，存在如下缺陷：光罩化学制程所用的化学试剂都有很强的腐蚀作用，手工接触药液存在很大的安全隐患，尺寸大的光罩都很重，生产人员手工制程的劳动强度很大，手工拿版容易污染化学制程的药液，直接导致光罩缺陷的增加；此外，光罩的底部与制程槽体接触，在晃动的过程中，很容易造成划伤，严重的划伤直接导致光罩报废，这大大增加公司的生产成本。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供无需手工直接操作的用于光罩化学制程的夹具,使化学制程操作更安全、无污染，快速高效。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种用于光罩化学制程的夹具，所述夹具包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。

进一步地，所述底座和第一夹持杆的末端相对侧均设有卡槽，所有卡槽位于同一平面内。

进一步地，所述导向柱沿轴向镂空形成引导孔，第一夹持杆借由穿过引导孔的螺钉固定于导向柱上。

进一步地，第一夹持杆的安装螺钉的一端向底座方向延伸形成抵顶部。

进一步地，底座包括固设有导向柱的基部和自基部延伸而成的第二夹持杆，第二夹持杆与第一夹持杆相互平行，且末端与第一夹持杆的相对侧设有所述卡槽。

进一步地，第二夹持杆与第一夹持杆末端的端面在同一平面内，该平面与卡槽所在平面平行，且端面与卡槽之间形成高度相同的隔离部。

进一步地，所述第二夹持杆至少有两个。

本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具的有益效果是：通过采用由底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆构成的夹具，从而在化学制程中无需手工直接操作，化学制程操作更安全、无污染，快速高效。

附图说明

图1是本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具的主视图。

图2是光罩板材推进至图1所示的卡槽的示意图。

图3是图1所示用于光罩化学制程的夹具的使用状态示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。本说明书中的光罩以铬版或干版为例进行说明。

请参考图1至图3，本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具包括底座10，固设于底座10上的导向柱20，及滑动地设于导向柱20上的与底座10配合夹持光罩的第一夹持杆30。从而，借由底座10与第一夹持杆30的活动配合，将光罩牢牢卡固于所述卡槽40内，以便进行化学制程操作，操作人员无需再手工直接操作，省力、安全、无污染，且快速高效。

优选地，所述底座10和第一夹持杆30的末端相对侧均设有卡槽40，所有卡槽40位于同一平面内。因光罩为平整的方块形，故与同一平面内的卡槽40匹配卡固。

所述导向柱20沿轴向镂空形成引导孔，第一夹持杆30借由穿过引导孔的螺钉50固定于导向柱20上。具体地，第一夹持杆30的始端开设有螺孔，螺钉50螺接固定于所述螺孔内。从而，所述夹具的第一夹持杆30可根据光罩的尺寸大小灵活调整至合适的位置，然后再固定。

第一夹持杆30的安装螺钉50的一端向底座10方向延伸形成抵顶部31。从而，借由所述抵顶部31，使得所述第一夹持杆30的耐受力度更大，夹具的结构更稳固，

底座10包括固设有导向柱20的基部11和自基部11延伸而成的第二夹持杆12，第二夹持杆12与第一夹持杆30相互平行，且末端与第一夹持杆30的相对侧设有所述卡槽40。