[实用新型]平面抛光盘表面形状误差的检测装置有效
| 申请号： | 201420261567.X | 申请日： | 2014-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN204064259U | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;赵世杰;谢瑞清;陈贤华;王健;许乔;钟波;袁志刚;邓文辉;唐才学;徐曦;周炼 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 抛光 表面 形状 误差 检测 装置 | ||
1.平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：设置有支撑座(2)，在所述支撑座(2)上端设置有横梁(3)，在所述横梁(3)上设置有导轨(4)和电机，所述电机包括定子(5)和动子(8)，移动块(7)通过滑块(6)设置在所述动子(8)和导轨(4)上，在所述移动块(7)上设置有可调支架(10)，所述可调支架(10)与激光位移传感器连接，所述激光位移传感器包括探测头(11)和数据连接线(12)，所述激光位移传感器与PC机连接，在所述探测头(11)下设置有可调平台(14)。
2.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述电机通过电机驱动器驱动，所述电机驱动器通过微控制器控制。
3.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述导轨(4)由2根轨条组成，分别设置在所述横梁(3)的上下两端。
4.如权利要求3所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述滑块(6)为4个，两两分别设置在所述2根轨条上。
5.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述移动块(7)与可调支架(10)通过磁块(9)连接。
6.如权利要求1所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：在所述可调平台(14)上设置有平面标准镜(13)。
7.如权利要求6所述的平面抛光盘表面形状误差的检测装置，其特征在于：所述平面标准镜(13)的面形误差PV值小于1μm。
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