[实用新型]砷化镓晶体定向测试仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及X射线测试仪技术，特别是涉及一种砷化镓晶体定向测试仪。

背景技术

砷化镓晶锭加工时需要经过：掏棒，切端面，滚外圆等工序。传统X射线定向仪无法满足砷化镓单晶锭所需掏棒方向的准确定向，使之掏棒所套出的晶棒直径远大于经过滚外圆等工序后实际所需晶棒直径，造成原材料浪费及加工时间变长。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种结构简单、使用方便、加工效率高的砷化镓晶体定向测试仪，解决了传统X射线定向仪无法对砷化镓单晶晶锭进行准确定位所造成的原材料浪费大及加工时间长的问题。

采用的技术方案是：

砷化镓晶体定向测试仪，包括机台、工作台、二维调整夹具、X光发射仪、X光接收仪、测量基准板及测量基准板升降装置。所述的机台上设有机台滑道，机台滑道上设置有工作台基准板，所述的工作台固定在工作台基准板上，机台上固定有工作台驱动电机，工作台驱动电机的动力输出轴与工作台基准板固定连接，在工作台驱动电机的驱动下，工作台通过工作台基准板可在机台滑道上前后进行滑动。所述的二维调整夹具固定在工作台上。所述机台上固定有机体防护罩，机体防护罩上固定有控制面板。所述测量基准板升降装置，包括升降导轨和升降电机，升降电机固定在导柱顶端，升降导轨固联在升降电机的动力输出轴上，升降导轨上连接有一测量基准板，所述的X光发射仪和X光接收仪固定在测量基准板上，测量基准板的底部固定有一定位针，使测量基准板转动的减速机主轴与编码器连接，通过传动比显示输出转动角度。

本实用新型具有结构简单、使用方便、加工效率高等优点，解决了传统X射线定向仪无法对砷化镓单晶晶锭进行准确定位所造成的原材料浪费大及加工时间长的问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的侧视图。

图3是图1的C―C视图。

具体实施方式

砷化镓晶体定向测试仪，包括机台7、工作台9、二维调整夹具5、X光发射仪3、X光接收仪11、测量基准板2及测量基准板升降装置。所述的机台7上设有机台滑道16，机台滑道16上设置有工作台基准板8，所述的工作台9固定在工作台基准板8上，机台7上固定有工作台驱动电机6，工作台驱动电机6的动力输出轴与工作台基准板8固定连接，在工作台驱动电机6的驱动下，工作台9通过工作台基准板8可在机台滑道16上前后进行滑动。所述的二维调整夹具5固定在工作台9上。所述机台7上固定有机体防护罩13，机体防护罩13上固定有控制面板12。所述测量基准板升降装置，包括升降导轨10和升降电机1，升降电机1固定在导柱顶端，升降导轨10固联在升降电机1的动力输出轴上，升降导轨10上连接有一测量基准板2，所述的X光发射仪3和X光接收仪11固定在测量基准板2上，测量基准板2的底部固定有一定位针4，使测量基准板转动的减速机主轴14与编码器15连接，通过传动比显示输出转动角度。