[发明专利]一种圆偏振光检测器及其制造方法

权利要求书

1.一种圆偏振光检测器，其特征在于，包括透明载体和嵌设在该透明载体内且同心布置的多个螺旋金属环，每个螺旋金属环由若干绕成环形的金属片组成；

每个金属片具有边e、边f、边g和边h，边h和边f分别位于对应螺旋金属环的内外边界上，边e和边g分别位于两条以螺旋金属环圆心为起点的阿基米德螺旋线上。

2.如权利要求1所述的圆偏振光检测器，其特征在于，每个螺旋金属环的径向宽度应小于待测光束波长，相邻两个螺旋金属环的间距小于亚波长。

3.如权利要求1所述的圆偏振光检测器，其特征在于，在同一螺旋金属环内，相邻两个金属片之间的最大距离小于待测光束的波长。

4.如权利要求1所述的圆偏振光检测器，其特征在于，处于最外层的螺旋金属环的外周半径小于待测光束的20个波长。

5.如权利要求1所述的圆偏振光检测器，其特征在于，在边e和边g上，所述阿基米德螺旋线的起始半径与末端半径的半径差小于待测光束的10个波长。

6.如权利要求5所述的圆偏振光检测器，其特征在于，所述末端半径对应的末端相位处于(0,6π)范围内。

7.如权利要求1所述的圆偏振光检测器，其特征在于，所述的透明载体包括基底和覆盖在基底上的介质，所述的螺旋金属环位于基底与介质之间。

8.一种如权利要求1～7任一项所述圆偏振光检测器的制造方法，其特征在于，在基底上沉积一层金属薄膜，并在金属薄膜上旋涂光刻胶，待光刻胶干燥后经光束或电子束曝光，使得螺旋金属环图形转移到光刻胶上，然后利用反应刻蚀或聚焦离子束刻蚀的方法将光刻胶上的螺旋金属环图形转移动金属薄膜上，得到螺旋金属环，最后在螺旋金属环上覆盖一层介质保护层，得到最终的圆偏振光检测器。

9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，在基底与金属薄膜之间镀设过渡层，该过渡层为氧化铋薄膜或钛膜。

10.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述的基底为石英片或K9玻璃片，所述的金属薄膜为金或银，所述的介质保护层为二氧化硅。