[实用新型]一种新型透明导电薄膜有效
申请号: | 201320369301.2 | 申请日: | 2013-06-26 |
公开(公告)号: | CN203366777U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 李晨光 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;G06F3/044 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 330000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 透明 导电 薄膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种导电薄膜,尤其涉及一种新型透明导电薄膜。
背景技术
ITO透明导电薄膜应用于电容式触摸屏时,要求成膜的ITO膜蚀刻并形成特定电极图案,蚀刻前后颜色差或反射差(▽R)较小,即相对于人眼无法辨别差异。
目前,触摸屏行业内ITO film基材一般采用折射率为1.58-1.6光学级PET,表面涂布折射率为1.45-1.5硬化层,可见光范围内平均反射率为约4%。与 ITO film导电薄膜膜系结构,一般为基材 1 +硬化层 2 +基材上表面粘接层 3 +高折射率层 4 +绝缘层 5 +导电层 6 。基材PET,折射率:1.58-1.6;硬化层:折射率1.49-1.55;粘接层SiO2或SiO2 与SiO混合物,折射率:1.47-1.6;高折射率层为Nb2O5或TiO2,折射率:2.0;导电层ITO,折射率:1.9-2.1。镀膜后反射率曲线,平均反射率10.3%-11.8%,回火后平均反射率在6%左右。
此种膜系结构工艺复杂导致良率较低,层数较多容易导致膜层龟裂等不良。
发明内容
本实用新型为了克服上述缺陷,目的在于提供一种新型透明导电薄膜,在于提高基材表面硬化层折射率,提高平均反射率并替代目前导电薄膜膜系结构中第三层高折射率层,硬化层表面只需镀制绝缘层及导电层。简化工艺复杂程度,减少膜层数。
本实用新型为了达到上述目的,采用如下技术方案:一种新型透明导电薄膜,该导电膜自下而上依次为基材、阻挡层、导电层;所述基材两面涂硬涂层,所述基材为柔性光学级PET,材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯。
所述硬涂层折射率为1.6至1.75,硬度标准为:镀膜面1H,镀膜背面2H,厚度为1μm-2μm。
所述阻挡层材料为SiOx或SixNyO,折射率区间为1.47至1.6,厚度为10nm-100nm。
所述导电层为ITO透明导电膜层,折射率为1.9至2.1,厚度为20nm-50nm,方阻为:50Ω-300Ω。
所述基材折射率为1.58,厚度范围20μm-200μm。
本实用新型与现有技术相比有如下技术优点:
1、本实用新型工艺及膜层结构简单,有效提高产品良率。
2、本实用新型提高基材表面硬化层折射率,提高平均反射率并替代目前导电薄膜膜系结构中第三层高折射率层,硬化层表面只需镀制绝缘层及导电层。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型基材镀膜前可见光内反射率曲线;
图3为本实用新型基材镀膜后可见光内反射率曲线。
具体实施方式
为了详细叙述本实用新型专利的上述特点,优势和工作原理,下面结合说明书附图1、2、3和具体实施方式对本实用新型做进一步的说明,但本实用新型所保护的范围并不局限于此。
一种新型透明导电薄膜,该导电膜自下而上依次为基材1、阻挡层3、导电层4;所述基材1两面涂硬涂层2,所述基材1为柔性光学级PET,材质为聚对苯二甲酸乙二醇酯。
所述硬涂层2折射率为1.6至1.75,硬度标准为:镀膜面1H,镀膜背面2H,厚度为1μm-2μm。
所述阻挡层3材料为SiOx或SixNyO,折射率区间为1.47至1.6,厚度为10nm-100nm。
所述导电层4为ITO透明导电膜层,折射率为1.9至2.1,厚度为20nm-50nm,方阻为:50Ω-300Ω。
所述基材1折射率为1.58,厚度范围20μm-200μm。
本实用新型反射率提高至6%,代替目前导电膜系结构中高折射率层。硬化层表面直接镀制阻挡层,阻挡层表面镀制导电膜层。
采用卷绕镀膜设备镀制本实用新型导电薄膜,将表面涂有硬化层的PET放入真空系统进行抽真空,基材卷绕方向顺序为硅靶镀膜室,ITO靶镀膜室,本地真空达到2.0E-6时打开靶材电源,依次镀SiO2, ITO.
附图2为本实用新型基材反射率曲线,可见光范围平均反射率6%左右,基材表面分别镀制SiO2,ITO后反射率曲线见附图3所示,可见光范围内反射率8%左右,回火后可见光范围内反射率6%左右。
以上所述实施例仅表达了本专利的一种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本专利构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本专利的保护范围应以所附权利要求为准。
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