[实用新型]六自由度调节机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及安装与校准技术领域，具体涉及一种六自由调节机构，尤其适用于较重激光器拆装时对光轴与光路系统的装调与对准的调节机构。

背景技术

诸如准分子激光器的激光器的整机部件较重，在整机集成或更换激光器时，激光器放电腔的光轴与整个激光器光路系统的光轴要保持重合，这就给安装激光器提出了较高的要求。因此，一种能够实现在既有光路系统下工作的调节机构是必不可少的。

图1和图2显示了准分子激光器的放电腔的安装示意图，图1和图2均为俯视图，且图1显示的是单腔双电极激光器的放电腔，图2显示的是单腔单电极激光器的放电腔。

如图1和图2所示，放电腔3放置于平台1上，平台1上还安装有光学模块2，图中ax为激光器的光轴，2a为单腔双电极结构的后端反射光学模块，3a为单腔单电极的前端输出光学模块。在激光器的安装和更换时，需要将光学模块2以及平台1的出光孔进行光路对准。由于放电腔3在安装时光路的对准需要极细微的位置调整，又由于激光器本身太重150Kg左右，因此人力无法实现。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型所要解决的技术问题是提出一种辅助机械调节机构，以实现对诸如激光器放电腔等装置进行六自由度的宏动及微动调节以实现光路对准。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于被调节装置的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；所述被调节装置的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为被调节装置的纵向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，所述Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；所述两个调节器的万向轮装置共同调节所述被调节装置在XY平面内的平移和在Z轴的转动；所述两个调节器的升降装置共同调节所述被调节装置在Z轴方向的高度和绕所述XY平面的X、Y轴的转动。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述万向轮装置包括万向轮支架和分别安装于万向轮支架两端的两个万向轮。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述万向轮支架的主体部分是一个扁长形机构，其长度方向平行于Y轴方向，该万向轮支架通过该主体部分与所述被调节装置固定连接。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述两个调节器的四个升降装置分别安装在所述被调节装置的四个底角位置，每个升降装置包括用于固定连接并支承所述被调节装置的升降装置支架。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述升降装置还包括导向头，所述导向头的上部为圆球形构件，所述升降装置支架的下部具有一个球窝结构，通过所述圆球形构件与球窝结构配合的方式连接所述导向头与所述升降装置支架。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述升降装置还包括垂直导向器、调整螺杆、减震器、锁紧螺母；所述导向头通过下部的螺纹孔与所述调整螺杆连接，所述调整螺杆上部为螺纹结构，通过调整该调整螺杆与所述导向头的配合螺纹圈数，来实现对所述导向头的高度的调整；所述垂直导向器用于容纳所述调整螺杆的下部，并与所述减震器固连；所述减震器与所述被调节装置的一个安装平台固连；所述锁紧螺母用于在调整完毕后对所述调整螺杆的锁紧。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述升降装置还包括上部导向块与下部导向块，所述下部导向块与上部导向块通过销轴进行连接，使得所述下部导向块相对于所述上部导向块做绕Y轴的单方向旋转运动；所述升降装置支架的下部通过销轴连接方式与所述上部导向块连接，使得上部导向块可以相对于所述升降装置支架做绕X轴的单方向旋转运动。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述升降装置还包括垂直导向器、调整螺杆、减震器、锁紧螺母；所述下部导向块通过下部的螺纹孔与所述调整螺杆连接，所述调整螺杆上部为螺纹结构，通过调整该调整螺杆与下部导向块的配合螺纹圈数，来实现对所述下部导向块的高度的调整；所述垂直导向器用于容纳所述调整螺杆的下部，并与所述减震器固连；所述减震器与所述被调节装置的一个安装平台固连；所述锁紧螺母用于在调整完毕后对所述调整螺杆的锁紧。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述调整螺杆的下部为光杆结构，其与所述垂直导向器配合可在垂直方向自由滑动。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述调整螺杆的下部为螺纹结构，所述垂直导向器具有与所述调整螺杆的下部的螺纹结构配合的螺纹圈。

(三)有益效果