[实用新型]晶圆缺陷检测机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆缺陷检测机台。

背景技术

由于晶圆半导体工艺过程的不断进步，集成电路的尺寸越来越小，而电路也越来越密集，随之而来的寄生电阻与寄生电容的效应也相对严重，使得半导体工艺过程陷入瓶颈。因此许多新材料纷纷开始用于半导体工艺过程中，以期能够解决寄生电阻与寄生电容的问题。

然而当新材料加入后，晶圆成为具有不同结构强度的层状结构。此种结构在晶圆切割的过程中可能会产生晶圆剥裂的问题，在焊线时可能造成晶圆剥裂、弹坑的问题，而在封模后对晶圆的测试也可能产生裂缝与剥离等问题。这些问题在晶圆上形成的缺陷往往过于细微，以至于在传统检测机台下无法被检验出来。而有缺陷的晶圆若再继续后续工艺过程，只会造成成本与人力上的浪费，且降低生产合格率。

实用新型内容

一种晶圆缺陷检测机台包含承载平台、光学检测装置、位移机构与控制单元。光学检测装置设置于承载平台的上方。光学检测装置具有光轴，且光学检测装置包含光源、分光镜、起偏振片、至少一偏振分光棱镜、至少一物镜、检偏振片与图像传感装置。分光镜位于光轴上。起偏振片设置于光源与分光镜之间。偏振分光棱镜位于光轴上。物镜设置于偏振分光棱镜相对于分光镜的一侧，且物镜位于光轴上。检偏振片设置于分光镜相对偏振分光棱镜的一侧，且检偏振片位于光轴上。图像传感装置设置于检偏振片相对分光镜的一侧，且图像传感装置位于光轴上。位移机构设置于承载平台下，且连接承载平台。控制单元连接光学检测装置与位移机构。

在一个或多个实施方式中，光学检测装置的偏振分光棱镜的数量为两个或两个以上，且光学检测装置还包含棱镜切换装置，具有两个或两个以上固定部。偏振分光棱镜分别固定于固定部。

在一个或多个实施方式中，棱镜切换装置与控制单元连接。

在一个或多个实施方式中，光学检测装置的物镜的数量为两个或两个以上，且光学检测装置还包含物镜切换装置，具有两个或两个以上固定部。物镜分别固定于固定部。

在一个或多个实施方式中，物镜切换装置为鼻轮。

在一个或多个实施方式中，物镜切换装置与控制单元连接。

在一个或多个实施方式中，偏振分光棱镜为诺马斯基(Normarski)棱镜或沃拉斯顿(Wollaston)棱镜。

在一个或多个实施方式中，晶圆缺陷检测机台还包含升降装置，该升降装置连接光学检测装置。

在一个或多个实施方式中，位移机构包含第一位移装置与第二位移装置。第一位移装置具有第一位移方向。第二位移装置具有第二位移方向。第二位移装置连接第一位移装置。第二位移方向与第一位移方向垂直。

在一个或多个实施方式中，晶圆缺陷检测机台还包含旋转机构，该旋转机构与承载平台及控制单元相连接。

上述晶圆缺陷检测机台采用光学检测装置检测晶圆，借此检测出细微与不明显的缺陷，因此可大幅提高检测的精确度，还可提升晶圆生产的整体合格率。

附图说明

图1为依照本实用新型一实施方式中晶圆缺陷检测机台的立体图。

图2为图1中承载平台、光学检测装置、位移机构、旋转机构与晶粒的侧视图。

图3为图2中光学检测装置的光路示意图。

图4为应用传统检测机台所检测晶粒的局部示意图。

图5为应用图1中晶圆缺陷检测机台所检测晶粒的局部示意图。

具体实施方式

以下将以附图公开本实用新型的几个实施方式，为明确说明起见，许多具体细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些具体细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型部分实施方式中，这些具体细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些现有的惯用结构与元件在附图中将以简单示意的方式表示。

图1为依照本实用新型一实施方式的晶圆缺陷检测机台立体图。晶圆缺陷检测机台包含承载平台100、光学检测装置200、位移机构300与控制单元400。光学检测装置200设置于承载平台100的上方。位移机构300设置于承载平台100下，且连接承载平台100。控制单元400连接光学检测装置200与位移机构300。