[实用新型]晶圆缺陷检测机台

权利要求书

1.一种晶圆缺陷检测机台，其特征在于，包含：

承载平台；

光学检测装置，其设置于该承载平台的上方，该光学检测装置具有光轴，且该光学检测装置包含：

光源；

分光镜，其位于该光轴上；

起偏振片，其设置于该光源与该分光镜之间；

至少一偏振分光棱镜，其位于该光轴上；

至少一物镜，其设置于该偏振分光棱镜相对于该分光镜的一侧，且该物镜位于该光轴上；

检偏振片，其设置于该分光镜相对该偏振分光棱镜的一侧，且该检偏振片位于该光轴上；以及

图像传感装置，其设置于该检偏振片相对该分光镜的一侧，且该图像传感装置位于该光轴上；

位移机构，其设置于该承载平台下，且连接该承载平台；以及

控制单元，其连接该光学检测装置与该位移机构。

2.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述光学检测装置的偏振分光棱镜的数量为两个或两个以上，且所述光学检测装置还包含：

棱镜切换装置，其具有两个或两个以上固定部，上述这些偏振分光棱镜分别固定于上述这些固定部。

3.如权利要求2所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述棱镜切换装置与控制单元连接。

4.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述光学检测装置的物镜的数量为两个或两个以上，且所述光学检测装置还包含：

物镜切换装置，其具有两个或两个以上固定部，上述这些物镜分别固定于上述这些固定部。

5.如权利要求4所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述物镜切换装置为鼻轮。

6.如权利要求4所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述物镜切换装置与控制单元连接。

7.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述偏振分光棱镜为诺马斯基棱镜或沃拉斯顿棱镜。

8.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，还包含：

升降装置，其连接所述光学检测装置。

9.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，所述位移机构包含：

第一位移装置，其具有第一位移方向；以及

第二位移装置，其具有第二位移方向，该第二位移装置连接第一位移装置，其中该第二位移方向与第一位移方向垂直。

10.如权利要求1所述的晶圆缺陷检测机台，其特征在于，还包含：

旋转机构，其与所述承载平台及控制单元相连接。