[实用新型]一种真空水冷腔体

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生产制备技术领域，尤其涉及一种晶体在制备过程中所用到的真空水冷腔体。

背景技术

在高温晶体生产设备中一般包括高温加热器，高温加热器的外部设置有多重用于保温的保温屏，其中保温屏和高温加热器均设置于真空水冷腔体中，由于在生产过程中需要对真空水冷腔体进行抽真空，因此真空水冷腔体需要保证很好的密封性以及较高的机械强度，同时真空水冷腔体内部的高温加热器的热辐射或者热传导会导致真空水冷腔体本身温度急剧升高，因此需要对真空腔体进行通水冷却。

现有的真空水冷腔体主要采用不锈钢材质，为了对真空水冷腔体进行冷却，目前一般的做法是在真空水冷腔体的外壁表面焊接有沿真空水冷腔体外壁螺旋分布的隔板，并在隔板上焊接外层不锈钢密封板，外层不锈钢密封板、螺旋分布的隔板以及真空水冷腔体的外壁共同构成冷却水的螺旋冷却通道，冷却水在不锈钢板和冷却腔体外壁之间的夹层中通过，以保证真空水冷腔体正常工作。

由于该种真空水冷腔体的冷却通道是通过在冷却腔体外壁上焊接隔板以及外层不锈钢密封板形成的，焊接的过程当中会导致真空水冷腔体的变形，无法保证冷却通道的密封性，并且隔板与不锈钢密封板以及真空水冷腔体的外壁之间的焊缝容易存在间隙，这会导致冷却水在冷却通道内窜流，降低冷却效果，同时由于不锈钢密封板仅与较薄的隔板侧壁相连，其连接强度有限，在水压较高的情况下，容易导致不锈钢密封板与隔板之间的开焊，这会进一步降低冷却水对真空水冷腔体的冷却效果。

鉴于以上问题，开发一种新型真空水冷腔体，以避免冷却水在冷却通道内的窜流现象，并且防止冷却水的泄露，从而提高冷却水对真空水冷腔体的冷却效果是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空水冷腔体，以防止冷却水的泄漏以及冷却水通道的窜水现象，从而提高冷却水对真空水冷腔体的冷却效果。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空水冷腔体，应用于高真空晶体生长设备中，包括腔体壁和冷却水通道，其特征在于，所述冷却水通道开设于所述腔体壁内。

优选的，在上述方案中，所述冷却水通道由机加工孔道构成。

优选的，在上述方案中，所述真空水冷腔体整体呈长方体形，且所述冷却水通道由多条横向孔和纵向孔以及设置于所述横向孔和纵向孔端部的密封栓构成。

优选的，在上述方案中，所述真空水冷腔体的腔体壁的各个面上均设置有冷却水通道，且各个面的冷却水通道连通形成一条整体冷却水通道。

优选的，在上述方案中，所述真空水冷腔体整体呈圆形，所述冷却水通道沿所述圆形真空水冷腔体的腔体壁呈螺旋状分布。

优选的，在上述方案中，所述腔体壁为铝合金腔体壁。

由以上技术方案可以看出本实用新型所提供的真空水冷腔体包括腔体壁和冷却水通道，并且冷却水通道开设在腔体壁内，由于直接在腔体壁中开设了冷却水通道，腔体壁材料直接作为冷却水通道的外壁，这就杜绝了冷却水向外泄露的现象，并且可以有效防止冷却水在流道内的窜水现象，从而使冷却水沿着冷却通道由入口一直沿着预设的冷却水通道流至出口，进而形成对真空水冷腔体有效的冷却，提高冷却水对水冷腔体的冷却效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例所提供的一种真空水冷腔体的整体结构示意图；

图2为图1中所示的真空水冷腔体前侧面的剖视图；

图3为本实用新型实施例所提供的密封栓的安装示意图。

对图中标号的说明：

1：腔体壁，2：冷却水通道，3：密封栓，4：冷却水入口，5：冷却水出口，6：密封栓安装工具。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种真空水冷腔体，该真空水冷腔体将冷却水通道直接开设在真空水冷腔体的腔体壁内，从而有效避免了冷却水的泄露和冷却水在冷却水通道内的窜流现象，提高了冷却效果。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1和图2，图1为本实用新型实施例所提供的一种真空水冷腔体的整体结构示意图，图2为图1中所示的真空水冷腔体前侧面的剖视图。

本实用新型所公开的真空水冷腔体主要应用在高真空晶体生长设备中，例如蓝宝石长晶设备中，该真空水冷腔体包括腔体壁1和冷却水通道2，相对于现有技术，本实施例中所提供的真空水冷腔体的核心改进点在于，冷却水通道2直接开设在腔体壁1内。