[实用新型]真空度在线检测装置

权利要求书

1.一种真空度在线检测装置，其特征在于，包括用于检测真空装置的真空度的密封塞和用于对所述密封塞检测到的数据进行计算处理的检测模块；所述检测模块包括微控制器，所述微控制器连接有通讯电路和电源电路；所述密封塞通过定流电路与所述微控制器连接；所述密封塞依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述密封塞还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接。

2.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述检测模块与所述密封塞连接并与该密封塞为一体结构。

3.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述电源电路为DC/DC电源。

4.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述通讯电路与微控制器之间连接有通讯隔离电路。

5.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述通讯电路为数据通讯总线。

6.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述微控制器还连接有系统指示灯。

7.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述微控制器还连接有报警开关。

8.根据权利要求1所述的真空度在线检测装置，其特征在于，所述定流电路连接有电压基准电路。