[实用新型]微气压传感器及多通道式微压传感系统有效
| 申请号： | 201320010963.0 | 申请日： | 2013-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203011607U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 井杨坤 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气压 传感器 通道 式微 传感 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种微气压传感器，其特征在于，包括变容式硅膜盒和数据采集器，所述变容式硅膜盒包括上半导体单晶形变膜、下半导体单晶形变膜和电极，所述电极分别与所述上、下半导体单晶形变膜连接；且所述变容式硅膜盒与所述数据采集器连接。
2.根据权利要求1所述的微气压传感器，其特征在于，所述的上半导体单晶形变膜、下半导体单晶形变膜均为扩散硅感应芯体。
3.根据权利要求1所述的微气压传感器，其特征在于，所述上半导体单晶形变膜与所述下半导体单晶形变膜平行设置。
4.根据权利要求1所述的微气压传感器，其特征在于，所述数据采集器包括信号放大器和模数转换器，所述模数转换器分别与所述多个变容式硅膜盒连接。
5.一种应用于高温固化炉中的多通道式微压传感系统，其特征在于，包括支撑柱和多个如权利要求1~4中任一项所述的微气压传感器，所述支撑柱内设支撑柱腔体，所述多个微气压传感器均通过导气管连接在所述支撑柱腔体内。
6.根据权利要求5所述的多通道式微压传感系统，其特征在于，所述支撑柱的材料采用高弹橡胶。
7.根据权利要求6所述的多通道式微压传感系统，其特征在于，所述支撑柱的腔体内设置有气压表。
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