[发明专利]测试多端口器件的端口错误值反馈系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及微电子WAT（Wafer Acceptance Test，晶圆可接受测试）技术领域，尤其涉及一种测试多端口器件的端口错误值反馈系统和方法。

背景技术

WAT测试时会出现大致以下几种测试错误：系统错误（system error），测试参数错误（parameter error），量测错误(measure error)。系统错误是由于测试算法错误等原因造成的，测试参数错误是由于输入参数不合理导致的，量测错误是器件自身或者是量测设备本身发生问题导致测试不到预定的值而发生错误。

WAT测试时分为多端测试以及单端测试，单端测试是只需要返回一次测试所得到的单端测试结果，多端测试是需要测试器件的多个端口，将多次测试结果进行数学运算的测试。

当单端测试发生上述错误，测试将进入错误情况（error type）的判断，同时返回一个相应的错误值（error code）并结束当前测试，一般现在量测错误有4种错误情况（施加电压/电流震荡，施加电压/电流超过量程，量测电压/电流超过量程以及量测没有达到指定的电压/电流），一旦测试发生上述错误将结束测试同时返回一个值告诉用户错误类型，只需记住4个值所对应错误类型即可判断究竟发生何种错误。

多端测试情况十分复杂，以六端口器件为例，一共可能发生量测错误的可能一共有4096种错误（每个端口有4种错误情况，即共有4⁶=4096种量测错误情况），加上系统错误以及测试参数错误一共4098种错误，并且最大值不得超过3+E18，现有技术只是和单端测试一样简单返回一个错误值，无法清晰的表示出是哪些端口有问题，也无法知道出现这些问题的原因。故如何清晰表示多端口器件的端口测试错误并使得用户在最后数据判断时能直接知晓出现问题的端口以及出现问题的原因，是本发明实际要解决的技术问题。

中国专利（公开号：CN1264227A）公开了一种多端口器件分析装置和方法以及该装置的校准方法，多端口器件分析装置包括：信号源，多个测试端口，多个测量单元，基准信号测量单元，多个终端电阻器，开关装置，把测试信号有选择地提供给一个测试端口（输入端口），使终端电阻器不连接具有测试信号的测试端口（输入端口），同时使终端电阻器连接所有其它的测试端口；其中，在不改变测试端口和DUT终端之间连接的情况下，获得多端口DUT的参数，同时改变测试端口的选择，直至所有测试端口都被指定为输入端口。该专利能够高效率和高精度地精确测量多端口器件的参数。

中国专利（公开号：CN101826509A）公开了一种WAT结构，以提高制备的检测样片的质量，提高检测效果，进而提高采用WAT结构测试的测试效果。该WAT结构包括多行互连层连接孔，其中至少有一个连接孔与其它行连接孔间隙在该连接孔所属行的投影有重叠。

上述两专利并未公开如何清晰表示多端口器件的端口测试错误，并使得用户在最后数据判断时能直接知晓出现问题的端口以及出现问题的原因等技术内容。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种测试多端口器件的端口错误值反馈系统，能够在多端测试发生错误时产生并反馈错误值，根据不同的错误值能够判断出现错误的端口以及该端口的错误情况。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种测试多端口器件的端口错误值反馈系统，应用于WAT测试中，其中，包括：

WAT测试机台，分别与错误类型判断装置、循环判断装置连接，用于测试多端口器件的每个端口；

错误类型判断装置，与赋值装置连接，用于在所述多端口器件的端口错误时判断错误类型；

赋值装置，分别与显示装置、错误值记录装置连接，用于根据所述多端口器件的端口数量设定标准错误值，以及根据所述错误类型对应的标准错误值进行端口错误值赋予；

错误值记录装置，与循环判断装置连接，用于选择性记录所述端口错误值；

循环判断装置，与计算装置连接，用于循环判断所述多端口器件的所有端口是否均完成测试；

计算装置，与显示装置连接，用于在所述多端口器件的所有端口均完成测试后计算所述错误值记录装置中记录的所有端口错误值之和，以得到输出结果；以及，

显示装置，用于显示所述端口错误值，或者所述输出结果。

上述的测试多端口器件的端口错误值反馈系统，其中，所述错误类型包括系统错误、测试参数错误以及量测错误，所述赋值装置根据错误类型对应的标准错误值进行端口错误值赋予，所述端口错误值由所述错误值记录装置选择性记录。