[发明专利]一种氧化锌纳米线阵列结构及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌纳米线阵列结构的制备方法，该方法包括以下步骤：

（1）将氧化锌、石墨粉和第一掺杂剂的混合物经过研磨后置于管式炉中的石英管中，并向该石英管中通入惰性气体和氧气的混合气体，进行第一次化学气相沉积，在石英管内生长出掺杂的氧化锌微米带；

（2）将石英管内的掺杂的氧化锌微米带转移到硅片上，并将锌粉和第二掺杂剂的混合物经过研磨后置于所述掺杂的氧化锌微米带的上游处，然后一起放入管式炉的石英管中，并向该石英管中通入惰性气体和氧气的混合气体，进行第二次化学气相沉积。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一掺杂剂和所述第二掺杂剂各自为碱金属氯化物。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（1）中，所述第一掺杂剂为氯化锂；在步骤（2）中，所述第二掺杂剂为氯化钠。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（1）中，氧化锌、石墨粉和第一掺杂剂的混合物经过研磨后的颗粒尺寸为1-100微米。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的方法，其中，在步骤（1）中，氧化锌、石墨粉和第一掺杂剂的质量比为1-5：0.1-3：0.1-1，优选为1-3：0.5-1.5：0.2-0.4。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（1）中，所述第一次化学气相沉积的条件为：反应温度为800-1200℃，升温速度为20-50℃/分，反应时间为3-5小时，反应压力为常压。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（1）中，所述惰性气体的体积流量为50-300sccm，优选为100-200sccm；所述氧气的体积流量为0.5-3sccm，优选为0.5-2sccm。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（2）中，所述锌粉和第二掺杂剂的质量比为5-10：0.1-2，优选为7-9：0.5-1.5；所述锌粉和第二掺杂剂的混合物经过研磨后的颗粒尺寸均为1-100微米。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（2）中，所述第二次化学气相沉积的条件为：在真空状态下，反应温度为500-750℃，升温速度为20-50℃/分，反应时间为20-60分钟，反应压力为100-500帕。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤（2）中，所述惰性气体的体积流量为30-200sccm，优选为50-150sccm；所述氧气的体积流量为0.5-5sccm，优选为1-3sccm。