[发明专利]一种二硫化钼纳米薄片及其制备方法有效
申请号: | 201310367292.8 | 申请日: | 2013-08-21 |
公开(公告)号: | CN104418387A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 江帅;贺蒙;殷雄;李建业 | 申请(专利权)人: | 国家纳米科学中心 |
主分类号: | C01G39/06 | 分类号: | C01G39/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二硫化钼 纳米 薄片 及其 制备 方法 | ||
1.一种二硫化钼纳米薄片的制备方法,其特征在于,在惰性气氛中,将硫源与钼源蒸汽接触并进行化学气相沉积,以在衬底上形成竖立的二硫化钼纳米薄片;所述化学气相沉积的反应条件为:反应温度为690~750℃,反应时间为5~60min。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述钼源为三氧化钼。
3.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述硫源为二硫化碳。
4.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述二硫化碳通过随载气导入的方式加入。
5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述载气为氩气和/或氮气。
6.如权利要求4或5所述的制备方法,其特征在于,所述载气的流动速率为20~250sccm,优选为50~200sccm。
7.如权利要求1-6之一所述的制备方法,其特征在于,所述反应温度为720℃。
8.如权利要求1-7之一所述的制备方法,其特征在于,所述反应时间为30min。
9.如权利要求1-8之一所述的制备方法,其特征在于,所述衬底为石墨箔或硅片。
10.一种由权利要求1-9中任一项所述的方法制得竖立的二硫化钼纳米薄片,其特征在于,所述二硫化钼纳米薄片的形貌特殊、尺寸均匀、绝大部分为单层,并且能实现大面积均匀生长;其大小在0.3~2μm,厚度<1nm。
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