[发明专利]喷雾喷嘴单元有效
申请号: | 201310367263.1 | 申请日: | 2013-08-21 |
公开(公告)号: | CN103623962A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 郑基泽;崔虎重;姜明成;宋旭 | 申请(专利权)人: | SNU精密股份有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B15/00;F16J15/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 董敏;王婧 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷雾 喷嘴 单元 | ||
技术领域
本发明涉及一种喷雾喷嘴单元,并且更具体地,涉及一种将蒸发的原材料喷洒到基片上以便将该原材料以薄膜的形式沉积在该基片上的喷雾喷嘴。
背景技术
可单独地发光的有机发光显示设备包括有机发光装置,该有机发光装置以矩阵的形式连接在扫描线与数据线之间以形成像素。该有机发光装置包括阳极电极、阴极电极、和有机薄膜层,该有机薄膜层形成在阳极电极与阴极电极之间并包括电洞传递层(hole transfer layer)、有机发光层、和电子传递层。
与无机材料不同,在沉积该有机薄膜层的过程中所使用的有机材料并不需要高蒸汽压力,而是在高温下是易于被分解和变质的。由于这种材料的特性,该有机薄膜通过下述方式沉积在基片上:为由钨、钛、不锈钢(SUS)等制成的容器填充该有机材料,并且对该容器加热以使该有机材料蒸发。
将被蒸发以用于沉积该有机薄膜层的原材料均匀地喷洒到该基片上。为此,喷雾喷嘴联接至容置有蒸发的原材料的容器的外壁,并且该容器中的原材料通过该喷雾喷嘴并由此被蒸发到该基片上。
图1是示出了常规喷雾喷嘴的示例的视图。参照图1,常规喷雾喷嘴10通过螺纹联接部分12等联接至腔室20的外壁21。
由于腔室20和喷雾喷嘴10接触通过喷雾孔11的蒸发的原材料,因此,该腔室20和喷雾喷嘴10由于在沉积过程期间从蒸发的原材料传递的热量而具有高温,并且当沉积过程完成时,该腔室20和喷雾喷嘴10返回至低温。当该沉积过程反复进行时,腔室20和喷雾喷嘴10由于热量而受到在膨胀和收缩之间交替的反复性的载荷。这种由于加热而造成的反复性的载荷可能使将喷雾喷嘴10联接至该腔室的外壁21的螺纹联接部分12变松或者破裂,并且可能在喷雾喷嘴10与腔室的外壁21之间导致微小的裂缝。
在喷雾喷嘴与腔室之间的联接部分中发生的前述损坏可能导致腔室内部的蒸发的原材料通过已损坏的部分泄漏,从而不仅损失昂贵的原材料而且也由于泄漏的原材料污染了除基片以外的其它区域。
发明内容
因此,本发明设想来解决前述问题,并且本发明的一方面提供了一种喷雾喷嘴单元,其中,用于喷洒蒸发的原材料的喷雾喷嘴和容置有原材料的腔室被密封住而不会受损,使得可防止昂贵的原材料泄漏,从而降低生产成本,并且可防止原材料沉积在除基片以外的区域以由此防止由于原材料而导致的污染。
根据本发明的一方面,提供了一种喷雾喷嘴单元,其包括:喷嘴主体,该喷嘴主体包括喷雾孔,该喷雾孔内部地形成为竖直地穿透喷嘴主体并且蒸发的原材料经过该喷雾孔,并且该喷嘴主体穿透地联接至容置有原材料的腔室的外壁;密封构件,该密封构件安装在喷嘴主体与腔室的外壁之间,并且将喷嘴主体与腔室的外壁之间气密地密封住以防止蒸发的原材料在喷嘴主体与腔室的外壁之间泄漏;垫圈构件,该垫圈构件联接至喷嘴主体的放置在腔室的内部的下端部分;以及弹簧构件,该弹簧构件安装在垫圈构件与腔室的外壁的内表面之间,并且朝向腔室的外壁和垫圈构件弹性地偏压,使得喷嘴主体可紧密地接触该腔室的外壁。
喷嘴主体可包括:第一主体,该第一主体插置在形成于腔室的外壁中的通孔中并且朝向腔室的内部突出;以及第二主体,该第二主体设置在第一主体的上部部分中,并且该第二主体具有比第一主体大的截面面积并且该第二主体朝向腔室的外部突出。
密封构件可包括:第一密封构件,该第一密封构件安装在第二主体与腔室的外壁的外表面之间;以及第二密封构件,该第二密封构件安装在弹簧构件与腔室的外壁的内表面之间。
垫圈构件可形成为具有“U”形形状,喷嘴主体的下端部分可形成有从喷嘴主体的横向侧部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一对凹陷部分,并且垫圈构件与喷嘴主体可以以将垫圈构件装配至凹陷部分的方式联接。
密封构件可由铜材料制成。
附图说明
结合附图根据对示例性的实施方式进行的下列描述,本发明的上述和/或其它部分将变得清楚并且更容易被理解,其中:
图1为示出了常规喷雾喷嘴的示例的视图;
图2为示出了根据本发明的实施方式的喷雾喷嘴单元的视图;及
图3为示出了将图2的喷雾喷嘴单元的喷嘴主体与垫圈构件装配在一起的视图。
具体实施方式
下面,将参照附图对根据本发明的喷雾喷嘴单元的实施方式进行描述。
图2为示出了根据本发明的实施方式的喷雾喷嘴单元的视图;并且图3为示出了将图2的喷雾喷嘴单元的喷嘴主体与垫圈构件装配在一起的视图。
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