[发明专利]电动热屏提升装置

权利要求书

1.电动热屏提升装置，用于控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降，其特征在于，所述电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置，提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪，提升爪连接在提升杆的一端，能对热屏提供支撑，提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接，密封座安装在直线运动单元上，直线运动单元用于提供密封座进行直线运动的轨道，直线运动单元与电动装置相连，所述电动装置包括电机及驱动器；脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。

2.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置，其特征在于，所述密封座内设有X型圈，提升爪通过密封座的X型圈。

3.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置，其特征在于，所述调节旋钮用于手动控制提升爪和热屏的分开、衔接。

4.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置，其特征在于，所述电机为步进电机，驱动器为步进电机驱动器。 

5.根据权利要求1至4任意一项所述的电动热屏提升装置，其特征在于，所述电动热屏提升装置水平安装在直拉硅单晶炉的炉盖上。

6.基于权利要求1所述的电动热屏提升装置的控制方法，其特征在于，利用所述电动热屏提升装置控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降时，热屏的提升速度满足公式：v= L×v₁、m×g×S=1/2m×v 2 、T=h/v和W＞m×g×v，其中v 为热屏的提升速度，L为直线运动单元的螺距，即当电机旋转一圈，直线运动单元相应垂直方向上升的距离， v₁为电机的转速，m为热屏的质量，g为重力加速度，S为热屏由于惯性力上升的高度，S的值小于0.5mm，且T是热屏运动单位距离所需的时间，h是单位距离，W为电机功率。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述热屏的提升速度在1mm/s～10mm/s之间。