[发明专利]用于pH敏感应用的金属镀覆在审
申请号: | 201310301266.5 | 申请日: | 2013-04-08 |
公开(公告)号: | CN103484902A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | G·哈姆;D·L·雅康;J·A·里斯 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C25D7/12;H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 ph 敏感 应用 金属 镀覆 | ||
1.一种方法,所述方法包括:
a)提供包括正面侧、金属化背面侧以及PN结的半导体,所述正面侧包括具有烧结的金属浆料的导电轨迹图案;
b)在所述导电轨迹上沉积阻挡层;
c)使所述半导体接触铜镀浴,所述铜镀浴包括一种或多种铜离子源、一种或多种氯化物离子和溴化物离子源、一种或多种硝酸盐离子、硫酸盐离子和硫酸氢盐离子源以及1.5-4的pH;以及
d)邻近所述导电轨迹的所述烧结的金属浆料的所述阻挡层镀覆铜层。
2.权利要求1的方法,进一步包括从具有2或更大的pH的源邻近所述铜层沉积金属层。
3.权利要求2的方法,其中所述金属层为选择自银和锡的金属。
4.权利要求1的方法,其中所述氯化物、溴化物或氯化物和溴化物的混合物的离子范围从1-100ppm。
5.权利要求1的方法,其中所述阻挡层为选自镍、钨和钛的金属。
6.权利要求1的方法,进一步包括从具有2或更大的pH的溶液邻近所述铜层沉积有机可焊性防腐剂。
7.一种组合物,所述组合物包括一种或多种铜离子源、一种或多种氯化物离子和溴化物离子源、一种或多种硝酸盐离子、硫酸盐离子和硫酸氢盐离子源以及1.5-4的pH。
8.权利要求7的组合物,其中所述一种或多种硝酸盐离子源选自碱金属硝酸盐。
9.权利要求8的组合物,其中所述一种或多种硝酸盐离子源范围从5-100g/L。
10.权利要求7的组合物,其中氯化物、溴化物或氯化物和溴化物的混合物的离子范围从1-100ppm。
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