[实用新型]一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置有效

专利信息
申请号: 201220448022.0 申请日: 2012-09-05
公开(公告)号: CN202811555U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 范多旺;牛晓山;范多进;夏荣斌;令晓明;杨树本 申请(专利权)人: 常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 213000 江苏省常州市新北区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 便捷 扩散 压力 监测 补充 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种扩散泵,特别是一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置。

背景技术

目前,国内真空设备中扩散泵泵油的补充主要采取两种方式:从抽气口通过打开高阀补充扩散泵油或扩散泵自带加油口补充,这两种方式都有一些不足和弊端。从抽气口通过打开高阀补充扩散泵油,采用这种方法具有以下缺点:真空设备中抽气口一般都会有格栅或防护网,如果设备中含有深冷捕集泵时,设备的高阀一般会采用翻板阀结构,因翻板阀本身比较长,同时高阀口还有冷阱等遮挡,补充扩散泵有时一般很困难。从扩散泵自带加油口补充,加泵油口一般为金属密封或氟橡胶密封,金属密封时,打开后再次密封时容易造成密封不好而扩散泵漏气,且密封圈为氟橡胶密封时,因为离扩散泵加热器太近,长期受扩散泵加热烘烤密封圈容易老化,重新拆卸后大多不能使用,容易出现漏气。

发明内容

本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种在扩散泵前级管道添加泵油方便的扩散泵泵油补充装置。

本实用新型采用的技术方案是这样的:一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,包括KF拉伸弯头、KF密封组件、KF转接规管过渡装置、规管, KF转接规管装置通过KF密封组件连接在KF拉伸弯头上,KF拉伸弯头的另一端焊接在扩散泵前级口上,且弯头的方向向上。规管安装在KF转接规管装置上。

综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

1、扩散泵补充泵油方便简单。

2、扩散泵泵油补充装置与规管在同侧,方便补充泵油时观察,同时规管可以监测扩散泵压力。

3、采用KF密封组件,拆卸安装方便简单。

附图说明

图1是一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置平面示意图。

图2是一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置位置示意图。

图中标记:1为KF拉伸弯头、2为KF密封组件、3为KF转接规管过渡装置、4为规管、5为扩散泵前级口。

具体实施方式

下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

如图1所示,一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置,包括KF拉伸弯头1、KF密封组件2、KF转接规管过渡装置3、规管4,所述的KF转接规管装置3通过KF密封组件2连接在KF拉伸弯头1上,所述的规管4安装在KF转接规管装置3上。

所述的KF拉伸弯头1的另一端焊接在扩散泵前级口5上。

所述的KF拉伸弯头1的弯曲方向向上。

KF拉伸弯头1弯头处围殴圆弧过渡,便于扩散泵油补充时更方便进入扩散泵内部; KF拉伸弯头1密封采用KF快卸密封组件2,方便装卸,规管4在补充油的时候方便装卸,同时监测扩散泵的前级压力。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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