[实用新型]缺陷检测装置

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，包括:

用于放置待检测物的待检测平台；

设置于所述待检测平台上的检测镜头；

与所述检测镜头相连的光学控制面板；

其特征在于，所述缺陷检测装置还包括至少一个喷气枪，所述喷气枪平行设置于所述检测镜头旁，并朝向所述待检测平台。

2.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，还包括气体供应源，所述气体供应源与所述喷气枪连通。

3.如权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述气体供应源中的气体为氮气或氦气。

4.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述喷气枪的数量为两个，分别位于所述检测镜头的相对两侧。

5.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述喷气枪的长度为100mm~200mm。

6.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述喷气枪喷出的气体压力为30PSI~50PSI。

7.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述喷气枪的出气口处的高度与所述检测镜头的底端的高度平齐。

8.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述喷气枪的出气口到所述待检测物表面的距离大于1mm。

9.如权利要求1至8中任意一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述待检测物为晶圆或掩膜板。