[发明专利]一种蝇眼透镜

权利要求书

1.一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，所述蝇眼透镜包括第一透镜组和第二透镜组，所述第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，所述第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，所述第一透镜面，用于将所述光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到所述第二透镜面上；所述第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到所述光学系统中的凹面镜上，其特征在于，

离所述第二透镜面的中心点越近的透镜，其对应的透过率越高；离所述第二透镜面的中心点越远的透镜，其对应的透过率越低。

2.如权利要求1所述的蝇眼透镜，其特征在于，所述透过率为60%～100%。

3.如权利要求2所述的蝇眼透镜，其特征在于，离所述第二透镜面的中心点最近的透镜的透过率为100%。

4.如权利要求3所述的蝇眼透镜，其特征在于，所述第二透镜面将接收到的光束照射到除所述凹透镜的中心点以外的选取点的光照度为：

其中，ΔP=ΔT=1t×K1K2×H×[1-(1L)n];]]>

T_ij为所述第二透镜面中每个透镜的透过率；

为所述第二透镜面将接收到的光束照射到所述凹透镜上的光照度；

P₀为已知凹透镜的中心点的光照度；

ΔP为所述第二透镜面将接收到的光束照射到除所述凹透镜的中心点以外的选取点相对于所述凹透镜的中心点的光照度之差；

ΔT为所述第二透镜面将接收到的光束照射到除所述光学系统中的掩膜板的中心点以外的选取点与所述掩膜板的中心点的光照度之差；

t、n、K₁和K₂均为常量，0<K₁<1，0<K₂<1，且n＞1；

l为所述第二透镜面将接收到的光束照射到除所述掩膜板的中心点以外的选取点与所述掩膜板的中心点之间的距离；

L为所述掩膜板的中心点与所述掩膜板的边缘上的交点之间的距离，所述交点为选取点和所述中心点所形成的直线与所述掩膜板的边缘相交的点；

H为所述掩膜板的中心点的最大曝光间距变化量。