[发明专利]一种测量超长导轨直线度的方法无效
| 申请号： | 201210487923.5 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN103017690A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 超长 导轨 直线 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量超长导轨直线度的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：
步骤一、在超长导轨（2）上规划N个测试采样点，所述N个测试采样点的间距相等，所述N为正整数；
步骤二、将球形固定反射器（3）吸附在反射器基座（4）上，反射器基座（4）吸附在导轨滑座（5）上，所述导轨滑座（5）沿超长导轨的长度方向放置在步骤一所述的超长导轨的第一个测试采样点处；
步骤三、调整激光跟踪仪（1），使激光跟踪仪（1）出射的光束经球形固定反射器（3）后返回激光跟踪仪（1），所述激光跟踪仪（1）获得第一个测试采样点的数据信息；
步骤四、移动导轨滑座（5）至下一个测试采样点，激光跟踪仪（1）依次采集每个测试采样点的数据信息；实现对N个测试采样点的数据采集；
步骤五、采用最小二乘拟合算法对步骤四采集的N个测试采样点的数据信息进行直线度计算，获得超长导轨（2）的直线度。
2.根据权利要求1所述的一种测量超长导轨直线度的方法，其特征在于，在步骤五之前，还包括对N个测试采样点的数据信息进行判断的过程，当测量的测试采样点的数据信息大于阈值时，则执行步骤三，所述阈值的范围是10μm至50μm。
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