[发明专利]物理量检测装置、物理量检测器及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备。

背景技术

一直以来，已知一种利用了振子等的物理量检测元件的物理量检测装置（例如，加速度传感器）。这种物理量检测装置被构成为，当物理量检测元件的共振频率由于力向检测轴方向作用而发生了变化时，根据该共振频率的变化而对被施加到物理量检测装置上的力（加速度）进行检测。

在这种物理量检测装置中，例如通过在被施加了加速度时会发生位移的可动部上设置质量部，从而提高加速度的检测灵敏度（参照专利文献1）。

但是，在专利文献1所公开的技术中，由于可动部和质量部的热膨胀系数有所不同，因此有时会因两者的热膨胀系数之差而在可动部上产生应力。而且，这种应力有时会被传递至物理量检测元件。其结果为，存在物理量检测元件的共振频率由于传递过来的应力而发生变动，从而导致物理量检测装置的检测灵敏度降低的情况。

专利文献1：日本特开2011-169671号公报

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况的物理量检测装置。此外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述物理量检测装置的物理量检测器及电子设备。

应用例1

为了解决上述课题，本发明所涉及的物理量检测装置包括：基部；可动部，其经由连接部而被设置在所述基部上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件，其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定；质量部，其被固定在所述可动部上，所述可动部包括：第一固定部，其上固定有所述物理量检测元件；第二固定部，其上固定有所述质量部；切口部，其与所述连接部分离，且具有从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。

根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上（在第二固定部上）产生了应力，也能够通过切口部来抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。其结果为，这种物理量检测装置能够具有较高的检测灵敏度。

应用例2

在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部以从所述可动部的一个主面贯穿至另一个主面的方式而被设置。

根据这种物理量检测装置，例如与切口部是有底的情况相比，能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。

应用例3

在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部是有底的。

根据这种物理量检测装置，与切口部从可动部的一个主面贯穿至另一个主面的情况相比，能够提高可动部的刚性。因此，在向物理量检测装置施加了加速度时，可动部能够在不发生扭曲的条件下，进一步稳定地进行动作。

应用例4

在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部被设置于，在俯视观察时不与所述物理量检测元件重叠的位置处。

根据这种物理量检测装置，能够通过切口部来抑制物理量检测元件的灵敏度降低的情况。

应用例5

在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述切口部包括在与所述可动部的旋转轴方向交叉的方向上延伸的结构，通过所述切口部，从而设置有具有所述第一固定部的第一脚部、和具有所述第二固定部的第二脚部，在所述第二脚部上，于与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，沿着所述旋转轴方向而存在刚性差，所述第二脚部的刚性在所述第一脚部侧较低。

根据这种物理量检测装置，由于第二脚部的刚性在第一脚部侧的相反侧较高，因此尤其是在将第二固定部沿着可动部的旋转轴方向（沿着X轴）而设置在第二脚部中的与第一脚部相反的一侧时，能够提高可动部在第二固定部附近的刚性。因此，能够抑制在可动部上产生的扭曲，从而能够抑制加速度的检测灵敏度降低的情况。

应用例6

在本发明所涉及的物理量检测装置中，可以采用如下方式，即，所述第二脚部在与所述第二固定部相比靠所述连接部侧的位置处，包含开口部。

根据这种物理量检测装置，即使因可动部与质量部之间的热膨胀系数之差，而在可动部上（在第二固定部上）产生了应力，也能够通过开口部来更进一步抑制该应力被传递至第一固定部的情况。即，能够更进一步抑制该应力向物理量检测元件传递的情况。

应用例7