[发明专利]晶棒粘接装置及晶棒粘接方法

说明书

技术领域

本发明涉及晶体制造，LED衬底基材的生产及半导体制造技术领域，特别涉及晶体加工行业的晶棒粘接装置及粘接方法。

背景技术

目前，在LED生产制造领域或者半导体领域中，常会使用到长度固定的晶棒，通常晶棒的长度在40-300mm。现有晶棒生产加工的设备只能满足300mm切割工艺，所形成的晶棒往往长度长短不一，即很多晶棒不符合晶棒使用的长度要求，需要多根晶棒粘接在一起。

为了避免对于不符合晶棒使用长度要求的此类晶棒的浪费，现有工艺中常使用晶棒粘接工艺，将不符合晶棒使用长度要求的多根短晶棒粘接在一起，使得粘接后的晶棒满足晶棒加工长度要求。由此，便可使用粘接后的晶棒，从而将不符合晶棒使用长度要求的短晶棒利用起来了，避免了对于此类晶棒的浪费。

为了使得短晶棒粘接在一起，常常首先需要对这些短晶棒根据工艺要求定向后固定起来，然后使得固定后的短晶棒对接在一条料板上，最后涂敷粘接剂使得短晶棒粘接起来。现有工艺中，尚没有使得短晶棒粘接在一起的装置，对于实现晶棒的粘接非常的不方便。因此，提供一套能够实现晶棒粘接的装置，成了本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶棒粘接装置及晶棒粘接方法，以解决现有技术中晶棒粘接不方便的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种晶棒粘接装置，包括：平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定所述晶棒的固定夹，所述多个固定夹能够沿着导向台运动。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述导向台包括方箱及固定于所述方箱上的第一线轨。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述固定夹包括外固定块、设置于所述外固定块中的内固定块、以及连接外固定块与内固定块的连接螺丝。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述连接螺丝为内六角沉头螺丝。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，所述固定夹还包括连接外固定块与内固定块的微分头。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括设置于所述平台上的限位螺杆，所述固定夹运动到一定位置后，固定于所述限位螺杆上。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括限位螺母，所述固定夹通过所述限位螺母固定于所述限位螺杆上。

可选的，在所述的晶棒粘接装置中，还包括设置于平台上的第二线轨，所述粘接台或者所述导向台能够沿着所述第二线轨运动。

本发明还提供一种晶棒粘接方法，包括：

利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；

每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；

粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒。

可选的，在所述的晶棒粘接方法中，每个固定夹沿着导向台中的第一线轨运动。

可选的，在所述的晶棒粘接方法中，利用多个固定夹固定多根晶棒包括：

将晶棒置于内固定块中；

利用连接螺丝将晶棒固定于内固定块中，同时紧固内固定块与外固定块。

可选的，在所述的晶棒粘接方法中，利用多个固定夹固定多根晶棒还包括：利用连接螺丝将晶棒固定于内固定块中，同时紧固内固定块与外固定块之后，

利用微分头调整内固定块的角度，以调整晶棒的角度。

可选的，在所述的晶棒粘接方法中，还包括：每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止之后，粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒之前，

固定夹通过限位螺母固定于限位螺杆上。

可选的，在所述的晶棒粘接方法中，还包括：固定夹通过限位螺母固定于限位螺杆上之后，粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒之前，

粘接台或者导向台沿着第二线轨运动。

在本发明提供的晶棒粘接装置及晶棒粘接方法中，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现晶棒粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提高了晶棒粘接效率，从而降低生产成本。

附图说明

图1是本发明实施例的晶棒粘接装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的晶棒粘接装置及晶棒粘接方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。