[发明专利]一种立式炉体

说明书

技术领域

本发明涉及一种炉体，特别是涉及一种立式炉体。

背景技术

目前，在半导体等行业多用到各类炉子，特别是对于热处理设备的广泛应用，热处理设备其中一个很重要的参数是温区分布，而目前热处理生产线所用的炉体中的温区分布情况是固定不变的，对于不同的热处理炉，其温区分布是不相同的，这就要求每更换一次炉体，都要根据新的温区分布来调节相应的工艺过程及参数，这对工艺的稳定性也带来不利的影响。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何提供一种高度可调的热处理炉体，以保证恒温区处于理想位置。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供的一种立式炉体，包括炉体本体，所述炉体本体的外部设有升降机构，所述升降机构用于调节所述炉体本体的高度。

其中，所述升降机构设于所述炉体本体的底部。

其中，所述升降机构包括固定支座、顶块和升降驱动单元；所述固定支座上设有一个或多个竖直导向槽，每个所述竖直导向槽内分别设有顶块，所述顶块与升降驱动单元连接，所述顶块的顶部抵住所述炉体本体的底部，所述升降驱动单元驱动所述顶块在所述竖直导向槽内做升降运动并带动炉体本体做升降运动进而调节炉体本体的高度。

其中，所述顶块的顶部还设有升降座，所述升降座的上部与所述炉体本体底部连接，所述升降座的下部与所述固定支座相扣合。

其中，所述升降座设有开口向下的第一凹槽，所述固定支座上设有与所述第一凹槽相匹配的突起，所述顶块位于所述突起上。

其中，所述升降驱动单元采用液压驱动系统，所述液压驱动系统与所述固定支座一体成形，所述液压驱动系统直接驱动顶块做升降运动。

其中，所述升降驱动单元包括液压驱动系统和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述液压驱动系统设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。

其中，所述升降驱动单元包括电机驱动单元和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述电机驱动单元设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。

其中，所述升降机构还包括定位销，所述固定支座上开有与所述定位销相匹配的第一竖直定位孔，所述升降座上与所述第一竖直定位孔相对的位置开有与所述定位销相匹配的第二竖直定位孔，所述定位销的两端分别安装在所述第一竖直定位孔和第二竖直定位孔内。

其中，所述固定支座设为一个或多个。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的一种立式炉体，采用升降机构实现炉体本体的高度可调，使得在炉体本体内的温区分布不变的情况下，通过调节炉体本体的高度，以保证恒温区处于理想位置，实现设备更换炉体后温区具有一致性，并能使得尽可能多的产品处于恒温区内，该炉体适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉，热处理工艺稳定，节约了成本和资源。

附图说明

图1是本发明一种立式炉体的结构示意图；

图2是本发明升降机构的结构示意图；

图3是本发明升降机构的轴测图；

图4是本发明的固定支座的内部结构示意图；

图5是升降座的剖面图。

其中，1、炉体本体；2、固定支座；21、突起；3、顶块；4、升降座；41、第一凹槽；42、第二凹槽；5、定位销；6、进出油口；A、恒温区。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1和图2所示，本发明实施例提供的一种立式炉体，包括炉体本体1，该炉体本体的外部设有升降机构，该升降机构用于调节炉体本体的高度。实现了炉体本体的高度可调以保证设备更换炉体后恒温温区具有一致性，恒温区A处于理想位置，使得尽可能多的产品处于恒温区A内，该炉体可适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉，实现热处理工艺稳定，节约了成本和资源。