[发明专利]氧化锌纳米钉的合成方法有效
申请号: | 201210363820.8 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN102863012A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 王冰;郑照强;吴环宇 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | C01G9/03 | 分类号: | C01G9/03;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人: | 朱思全 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化锌 纳米 合成 方法 | ||
1.一种氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于包括如下步骤:
(1)将石墨和氧化锌粉末以质量比约为2:3的比例混匀;
(2)在单晶硅片上通过离子溅射方式溅射一层金膜;
(3)在离石墨和氧化锌的混合粉末附近放置溅射了金膜的单晶硅片;
(4)将整个系统抽真空,之后将少量氮气通入系统中;
(5)使系统快速升温至900至1100摄氏度,并且保持一段时间后冷却。
2.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:所述石墨质量约为2mg,所述氧化锌质量约为3mg,所述单晶硅片大小约为5mm2,所述石墨和氧化锌的混合粉末与所述单晶硅片间距约1cm。
3.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:步骤(2)中的溅射时间约为30秒,溅射电流约为2毫安。
4.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:步骤(4)中通入氮气的量约为300sccm,系统内压强约维持在1300Pa。
5.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:所述单晶硅片溅射表面为100面。
6.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于步骤(5)中升温过程如下:将系统从室温开始经25分钟升温至1000摄氏度,并保持1个小时。
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