[发明专利]氧化锌纳米钉的合成方法有效

专利信息
申请号: 201210363820.8 申请日: 2012-09-26
公开(公告)号: CN102863012A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 王冰;郑照强;吴环宇 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: C01G9/03 分类号: C01G9/03;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 代理人: 朱思全
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 氧化锌 纳米 合成 方法
【权利要求书】:

1.一种氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于包括如下步骤:

(1)将石墨和氧化锌粉末以质量比约为2:3的比例混匀;

(2)在单晶硅片上通过离子溅射方式溅射一层金膜;

(3)在离石墨和氧化锌的混合粉末附近放置溅射了金膜的单晶硅片;

(4)将整个系统抽真空,之后将少量氮气通入系统中;

(5)使系统快速升温至900至1100摄氏度,并且保持一段时间后冷却。

2.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:所述石墨质量约为2mg,所述氧化锌质量约为3mg,所述单晶硅片大小约为5mm2,所述石墨和氧化锌的混合粉末与所述单晶硅片间距约1cm。

3.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:步骤(2)中的溅射时间约为30秒,溅射电流约为2毫安。

4.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:步骤(4)中通入氮气的量约为300sccm,系统内压强约维持在1300Pa。

5.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于:所述单晶硅片溅射表面为100面。

6.根据权利要求1所述氧化锌纳米钉的合成方法,其特征在于步骤(5)中升温过程如下:将系统从室温开始经25分钟升温至1000摄氏度,并保持1个小时。

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