[发明专利]一种生产TCO镀膜玻璃的方法无效
| 申请号： | 201210360131.1 | 申请日： | 2012-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102826763A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 何光俊;方立;姚志涛;马文政;刘亚南 | 申请（专利权）人： | 上海北玻玻璃技术工业有限公司;上海北玻镀膜技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245;C03B25/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 刘懿 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生产 tco 镀膜 玻璃 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种生产TCO镀膜玻璃的方法，其特征在于，步骤包括：
步骤1，环境温度下进行真空溅射镀膜；
步骤2，真空退火，退火温度为50~500℃，退火时间为5~150min。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述退火温度为100~400℃，退火时间为10~120min。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述退火温度为150~350℃，退火时间为15~60min。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述退火温度为250~350℃，退火时间为30min。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述镀膜的膜材料包括In、Sn、Zn、Cd等金属氧化物中的任意一种或几种。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述TCO镀膜玻璃为ITO、FTO、AZO镀膜玻璃中的任意一种或几种。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述TCO镀膜玻璃为AZO镀膜玻璃。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述环境温度为-10~40℃。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述环境温度为10~35℃。
10.一种如权利要求1所述方法制备的TCO镀膜玻璃。
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