[发明专利]集束式柔性组合探针

权利要求书

1.一种集束式柔性组合探针，含有圆柱形的探针体，其特征是：所述探针体的前端设置有探针孔，该探针孔中固定有探针束，所述探针束由至少两个相互独立的小探针组成，每一所述小探针均由针杆、弹簧和针套构成，其中，所述针杆下端和弹簧套装在所述针套内，并且，所述针杆和针套之间设置有限位机构，所述针套与所述探针孔固定连接。

2.根据权利要求1所述的集束式柔性组合探针，其特征是：所述针杆下部设置有细杆段，所述细杆段的下端设置有限位块，所述针套上设置有限位凸环，所述限位块与限位凸环一起构成所述限位机构。

3.根据权利要求1所述的集束式柔性组合探针，其特征是：所述针杆下部设置有细杆段，所述细杆段的下端设置有限位块，所述针套上设置有限位螺钉或销钉，所述限位块与限位螺钉或销钉一起构成所述限位机构。

4.根据权利要求1所述的集束式柔性组合探针，其特征是：所述针杆上端设置有针头，所述针头的直径大于所述针杆的直径。

5.根据权利要求1-4任一项所述的集束式柔性组合探针，其特征是：针杆上设置有注焊锡孔，所述小探针的针套与所述探针孔通过焊锡固定；所述小探针紧密排列；所述探针体后端开有螺纹孔和扳手卡位。