[发明专利]一种新型真空吸附工作台

说明书

技术领域

本发明涉及激光精密加工技术领域，特别涉及一种新型真空吸附工作台，用于针对不同材料薄板进行的定位、装夹、固定、调节。 

背景技术

随着经济社会的发展，物质文化的丰富，市场对高端电子产品、能源材料的需求越来越大，要求越来越高，促使半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域相关技术飞速发展。 

激光精密加工技术因为其独特的加工特性，越来越多地被应用于该领域的产品加工，如针对超薄不锈钢板、铜箔、镊片、精密掩磨板等金属薄板材和柔性板（软板）、软硬结合板、平面薄玻璃等非金属薄板材的切割、划线、刻盲槽、钻孔等加工工艺，已被广泛应用于该领域高端产品的生产工艺中。 

该类薄板材类元件激光加工或测量应用中，必须首先考虑如何能在加工或测量过程中对加工对象进行装夹固定，以达到良好的加工效果和测量精度。 

在激光加工行业中，通常工作台固定工件的方式为压合夹持或真空吸附固定，这种夹持方式针对刚性好且厚度大的工件装夹比较容易，但针对有一定柔性的薄金属板材或易碎薄板材，如厚度在0.1mm以下的铜箔、镍片，或是厚度在0.5mm以下的玻璃等，这种夹持方式容易造成材料变形，进而影响激光加工的位置精度，或是在夹持过程中将工件损坏而造成报废。另外，传统夹持工件台，并不具有工件定位、水平度调节、根据材料特性不同调节合适吸附气压大小等功能，而这些功能对于采用激光加工方式加工出合格产品是非常必要的。 

发明内容

针对现有工作台易损坏特殊板材的上述缺陷和问题，本发明实施例的目的 是提供一种新型真空吸附工作台，针对金属或非金属超薄等特殊板材设置了装夹、固定、定位、调节等功能，不易损坏材料的同时，达到吸附更加平整、定位更加精确的目的。 

为了达到上述目的，本发明实施例提供如下技术方案： 

一种新型真空吸附工作台，其特征在于，包括安装底座、气压调节系统、直角定位尺、吸附网孔板和吸附气流槽板，直角定位尺、吸附网孔板和吸附气流槽板依次通过螺钉可拆卸式的固定在一起，吸附气流槽板安放于安装底座上，且背面安装有气压调节系统，气压调节系统包括进气管、气压调节阀、压力显示表、气压调节固定板、吸附管路和气管转接头，安装底座包括底座条、调节螺杆和调节螺母。 

作为上述技术方案的优选，所述吸附气流槽板上钻有抽气孔，抽气孔与吸附管路密封相连，整个吸附气流槽板上刻有梯形凹槽块，并呈均匀分布。 

作为上述技术方案的优选，吸附网孔板呈均匀分布的网状结构，并钻有抽气孔。 

作为上述技术方案的优选，进气管、气压调节阀、压力显示表通过气压调节固定板安装在吸附网孔板与吸附气流槽板的一端边缘，且压力显示表的表面与吸附网孔板的水平面一致，气压调节固定板底端通过螺丝固定在底座条上，气管转接头固定在吸附气流槽板背面，周围与吸附管路相连。 

作为上述技术方案的优选，所述吸附气流槽板上钻有抽气孔的数量为5，分别分布在吸附气流槽板的上、下、左、右和正中间，吸附管路通过气管转接头分为5路，与抽气孔对应的进行密封连接。 

本发明实施例提供的新型真空吸附工作台，在传统针对金属或非金属薄板材装夹工作台基础上，增加了针对金属或非金属的特殊超薄板材的工件定位、调节水平度、根据被夹持工件材料特性调节吸附气压、可靠固定等功能，在确保吸附固定好薄板材的同时，达到吸附更加平整、定位更加精确、与激光束垂 直度调节以获取更高的综合加工精度，很好地解决了传统方式中存在的问题。 

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本发明实施例的新型真空吸附工作台的整体结构示意图。 

图2为本发明实施例的新型真空吸附工作台的气压调节系统与安装底座的结构示意图。 

图3为本发明实施例的新型真空吸附工作台的吸附网孔板的结构示意图。 

具体实施方式

下面将结合本发明的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。