[发明专利]连续加压装置无效
申请号: | 201210332942.0 | 申请日: | 2012-09-10 |
公开(公告)号: | CN102866065A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 武雪飞;丁琨;窦秀明;孙宝权 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N3/18 | 分类号: | G01N3/18;G01N3/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 加压 装置 | ||
1.一种连续加压装置,其特征在于,包括:
圆筒(6);
压电陶瓷(4),设置于所述圆筒(6)内;
滑块(3),设置于所述圆筒(6)内,压设于所述压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的内侧壁上下滑动;
对顶砧(1),其部分的设置于所述圆筒(6)内,压设于所述滑块(3)的上表面。
2.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)的内部自上而下包括槽部、上中空部和下中空部;
所述压电陶瓷(4)的下部位于所述圆筒(6)的槽部内,其上部位于所述圆筒(6)的下中空部;
所述滑块(3)的下部位于所述圆筒(6)的下中空部,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的下中空部的内侧壁滑动,其上部伸入所述圆筒(6)的上中空部,与所述对顶砧(1)的下表面接触。
3.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述槽部、上中空部和下中空部均呈圆柱形,其半径依次增大。
4.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述上中空部和下中空部的半径之比为14∶9。
5.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述压电陶瓷(4)沿沿圆筒6轴向的尺寸占圆筒6下中空部高度的至少6/7。
6.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述对顶砧(1)的外侧面具有螺纹,该螺纹与所述圆筒(6)相应位置的螺纹相啮合。
7.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)的侧壁设置小孔;
所述压电陶瓷(4)的电源接线通过所述小孔连接至位于所述圆筒(6)外的电源。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,压电陶瓷(6)的材质为以下材质的一种:锆酸铅PZT或钽钪酸铅PST。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)由以下材质中的一种制备:紫铜或不锈钢。
10.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,所述对顶砧(1)为金刚石对顶砧。
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