[发明专利]连续加压装置无效

专利信息
申请号: 201210332942.0 申请日: 2012-09-10
公开(公告)号: CN102866065A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 武雪飞;丁琨;窦秀明;孙宝权 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01N3/18 分类号: G01N3/18;G01N3/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 宋焰琴
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 连续 加压 装置
【权利要求书】:

1.一种连续加压装置,其特征在于,包括:

圆筒(6);

压电陶瓷(4),设置于所述圆筒(6)内;

滑块(3),设置于所述圆筒(6)内,压设于所述压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的内侧壁上下滑动;

对顶砧(1),其部分的设置于所述圆筒(6)内,压设于所述滑块(3)的上表面。

2.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)的内部自上而下包括槽部、上中空部和下中空部;

所述压电陶瓷(4)的下部位于所述圆筒(6)的槽部内,其上部位于所述圆筒(6)的下中空部;

所述滑块(3)的下部位于所述圆筒(6)的下中空部,其外侧壁可沿所述圆筒(6)的下中空部的内侧壁滑动,其上部伸入所述圆筒(6)的上中空部,与所述对顶砧(1)的下表面接触。

3.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述槽部、上中空部和下中空部均呈圆柱形,其半径依次增大。

4.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述上中空部和下中空部的半径之比为14∶9。

5.根据权利要求2所述的连续加压装置,其特征在于,所述压电陶瓷(4)沿沿圆筒6轴向的尺寸占圆筒6下中空部高度的至少6/7。

6.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述对顶砧(1)的外侧面具有螺纹,该螺纹与所述圆筒(6)相应位置的螺纹相啮合。

7.根据权利要求1所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)的侧壁设置小孔;

所述压电陶瓷(4)的电源接线通过所述小孔连接至位于所述圆筒(6)外的电源。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,压电陶瓷(6)的材质为以下材质的一种:锆酸铅PZT或钽钪酸铅PST。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,所述圆筒(6)由以下材质中的一种制备:紫铜或不锈钢。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的连续加压装置,其特征在于,所述对顶砧(1)为金刚石对顶砧。

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